[实用新型]一种自动控制测量装置有效
申请号: | 201821535907.8 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN209014480U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 侯少锋;王继伟;李建邦 | 申请(专利权)人: | 深圳德仪先创科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01R31/00 |
代理公司: | 深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙) 44422 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 测量物镜 载台 自动控制测量 影像撷取装置 鼻轮 本实用新型 控制装置 立柱安装 使用寿命 微分干涉 装置安装 移动件 光路 立柱 良率 制程 光源 | ||
1.一种自动控制测量装置,其特征在于:包括立柱(1)、基座(3)、载台(2)、测量物镜装置(4)、控制装置及影像撷取装置;
所述载台(2)安装在基座(3)上,所述立柱(1)安装在基座(3)一侧并且位于载台(2)一侧;
还包括第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源、微分干涉光路,所述测量物镜装置(4)包括测量物镜组(41)、微分干涉光路、光源、鼻轮,所述测量物镜组(41)包括影像撷取装置,所述测量物镜组(41)安装在鼻轮底部,所述测量物镜装置(4)安装在第三移动件(11)上并且伸至载台(2)的上方,所述测量物镜装置(4)随第三移动件(11)位移;
所述控制装置与第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源电性相连。
2.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述影像撷取装置用来撷取测量物镜装置(4)测量到的影像。
3.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述的第一移动件(21)与第二移动件(22)设置在载台(2)上,所述第一移动件(21)与第二移动件(22)用来带动载台(2)分别沿界定相互垂直的X轴及Y轴方向移动,所述第三移动件(11)设置在立柱(1)上,所述第三移动件(11)可沿立柱(1)为界定Z轴的高度方向移动。
4.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述鼻轮的转动用来切换测量物镜组。
5.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述光源提供测量物镜组测量时所需要的光度。
6.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述第三移动件(11)与该测量物镜装置(4)之间具有可选择拆卸的连接件。
7.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述立柱(1)与第三移动件(11)之间具有可选择拆卸的扩充件。
8.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:还包括影像显示装置(5),所述影像显示装置(5)有两台,所述两台影像显示装置(5)安装在立柱(1)两侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳德仪先创科技有限公司,未经深圳德仪先创科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821535907.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种基于视觉检测的存折自动翻页装置
- 下一篇:视觉检测系统