[实用新型]一种自动控制测量装置有效

专利信息
申请号: 201821535907.8 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN209014480U 公开(公告)日: 2019-06-21
发明(设计)人: 侯少锋;王继伟;李建邦 申请(专利权)人: 深圳德仪先创科技有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01R31/00
代理公司: 深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙) 44422 代理人: 万永泉
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 测量物镜 载台 自动控制测量 影像撷取装置 鼻轮 本实用新型 控制装置 立柱安装 使用寿命 微分干涉 装置安装 移动件 光路 立柱 良率 制程 光源
【权利要求书】:

1.一种自动控制测量装置,其特征在于:包括立柱(1)、基座(3)、载台(2)、测量物镜装置(4)、控制装置及影像撷取装置;

所述载台(2)安装在基座(3)上,所述立柱(1)安装在基座(3)一侧并且位于载台(2)一侧;

还包括第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源、微分干涉光路,所述测量物镜装置(4)包括测量物镜组(41)、微分干涉光路、光源、鼻轮,所述测量物镜组(41)包括影像撷取装置,所述测量物镜组(41)安装在鼻轮底部,所述测量物镜装置(4)安装在第三移动件(11)上并且伸至载台(2)的上方,所述测量物镜装置(4)随第三移动件(11)位移;

所述控制装置与第一移动件(21)、第二移动件(22)、第三移动件(11)、鼻轮、光源电性相连。

2.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述影像撷取装置用来撷取测量物镜装置(4)测量到的影像。

3.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述的第一移动件(21)与第二移动件(22)设置在载台(2)上,所述第一移动件(21)与第二移动件(22)用来带动载台(2)分别沿界定相互垂直的X轴及Y轴方向移动,所述第三移动件(11)设置在立柱(1)上,所述第三移动件(11)可沿立柱(1)为界定Z轴的高度方向移动。

4.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述鼻轮的转动用来切换测量物镜组。

5.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述光源提供测量物镜组测量时所需要的光度。

6.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述第三移动件(11)与该测量物镜装置(4)之间具有可选择拆卸的连接件。

7.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:所述立柱(1)与第三移动件(11)之间具有可选择拆卸的扩充件。

8.根据权利要求1所述的一种自动控制测量装置,其特征在于:还包括影像显示装置(5),所述影像显示装置(5)有两台,所述两台影像显示装置(5)安装在立柱(1)两侧。

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