[实用新型]真空设备的动密封装置及真空设备

权利要求书

1.一种真空设备的动密封装置，所述真空设备包括真空室，所述真空室内设置有传输装置，其特征在于，所述动密封装置包括：传动组件和密封组件，所述传动组件位于所述真空室外部且与真空室壁(12)固定连接，所述传动组件与所述传输装置连接；所述密封组件用于密封所述传动组件与所述真空室的连接处。

2.根据权利要求1所述的动密封装置，其特征在于，还包括：驱动机构，所述传动组件包括动力转轴(1)，所述动力转轴(1)一端与所述驱动机构连接，所述动力转轴(1)的另一端穿过所述真空室壁(12)并于所述真空室内与所述传输装置连接。

3.根据权利要求2所述的动密封装置，其特征在于，所述传动组件还包括链轮(2)，所述链轮(2)设置于所述动力转轴(1)上与所述驱动机构连接的一端。

4.根据权利要求3所述的动密封装置，其特征在于，所述传动组件还包括：轴承及轴承座(5)，所述轴承套设于所述动力转轴(1)上，所述轴承座(5)与所述轴承连接；所述轴承座(5)与所述真空室壁(12)固定连接，以将所述动力转轴(1)及所述轴承与所述真空室固定。

5.根据权利要求4所述的动密封装置，其特征在于，所述密封组件包括密封垫片(6)，所述密封垫片(6)套设于所述动力转轴(1)上，且所述密封垫片(6)用于密封连接所述动力转轴(1)与所述真空室壁(12)。

6.根据权利要求5所述的动密封装置，其特征在于，所述密封组件还包括第一密封圈(7)，所述第一密封圈(7)用于密封连接所述密封垫片(6)与所述动力转轴(1)。

7.根据权利要求5所述的动密封装置，其特征在于，所述密封组件还包括第二密封圈(8)，所述第二密封圈(8)沿所述轴承座(5)的端面设置，所述第二密封圈(8)用于密封连接所述轴承座(5)与所述真空室壁(12)。

8.根据权利要求5所述的动密封装置，其特征在于，所述密封组件还包括骨架油封(9)，所述骨架油封(9)套设于所述动力转轴(1)上，且位于所述密封垫片(6)和所述轴承之间。

9.根据权利要求4所述的动密封装置，其特征在于，还包括：第一轴套(10)，所述轴承包括沿所述动力转轴(1)的径向设置的第一轴承(3)和第二轴承(4)，所述第一轴承(3)靠近所述真空室壁(12)；所述第一轴套(10)套设于所述动力转轴(1)上且位于所述第一轴承(3)和所述第二轴承(4)之间。

10.根据权利要求9所述的动密封装置，其特征在于，还包括：第二轴套(11)，所述第二轴套(11)套设于所述动力转轴(1)上且位于所述第二轴承(4)与所述链轮(2)之间。

11.根据权利要求4-10任一项所述的动密封装置，其特征在于，所述轴承为深沟球轴承。

12.根据权利要求1-10任一项所述的动密封装置，其特征在于，所述密封组件为氟橡胶密封组件。

13.一种真空设备，其特征在于，包括权利要求1-12任一项所述的真空设备的动密封装置。