[实用新型]一种线扫描式PL装置有效
申请号: | 201821541829.2 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN208722844U | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 刘怀广;王骏明;胡青青 | 申请(专利权)人: | 无锡市瑞能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214233 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 本实用新型 电池片 线扫描 太阳能电池片 成像过程 传送过程 光源组件 快速获取 图像获取 相机组件 片组件 碎片率 产能 图像 停留 检测 环保 | ||
1.一种线扫描式PL装置,包括机架(1)、光源组件(2)、相机组件(3)、传片组件(4),其特征在于:所述光源组件(2)安装在机架(1)上,相机组件(3)安装在机架(1)上,位于光源组件(2)的中心,传片组件(4)安装在机架(1)上,位于光源组件(2)的下方。
2.如权利要求1所述的一种线扫描式PL装置,其特征在于光源组件(2)包括一对光源组件上板(5)、两组散热光源组合(6)、内部遮光板(7);一对光源组件上板(5)安装在机架(1)上,两组散热光源组合(6)安装在一对光源组件上板(5)上,内部遮光板(7)安装在一对光源组件上板(5)上。
3.如权利要求1所述的一种线扫描式PL装置,其特征在于散热光源组合(6)包括一对侧面板(8)、光源固定板(9)、一对散热器压板(10)、一对散热器(11)、n(n≥2)个LED光源(12)、两对透镜支架连接板(13)、透镜支架(14)、平面柱面镜(15);一对侧面板(8)安装在光源组件上板(5)上,光源固定板(9)两端分别连接在在一对侧面板(8)上,角度可调由侧面板(8)上的长圆孔调节,一对散热器压板(10)固定在光源固定板(9)上,一对散热器(11)被一对散热器压板(10)压紧在光源固定板(9)上,n(n≥2)个LED光源(12)固定在光源固定板(9)下方,呈一字排开,两对透镜支架连接板(13)连接在光源固定板(9)的两侧,透镜支架(14)连接在两对透镜支架连接板(13)下方,平面柱面镜(15)连接在透镜支架(14)上。
4.如权利要求1所述的一种线扫描式PL装置,其特征在于相机组件(3)包括相机安装板(16)、相机加强板(17)、线扫描相机(18);相机安装板(16)安装在机架(1)上,相机加强板(17)分别与机架(1)和相机安装板(16)连接,线扫描相机(18)安装在相机安装板(16)上。
5.如权利要求1所述的一种线扫描式PL装置,其特征在于传片组件(4)包括一对传片连接板(19)、前立板(20)、传片电机板(21)、传片电机(22)、一对驱动轮(23)、一对圆带支撑安装板(24)、一对圆带支撑板(25)、接近固定座(26)、接近传感器(27)、后立板(28)、三对惰轮(29)、一对透明圆皮带(30);一对传片连接板(19)安装在机架(1)上,前立板(20)安装在传片连接板(19)上,传片电机板(21)安装在前立板(20)上,传片电机(22)安装在传片电机板(21)上,一对驱动轮(23)安装在传片电机(22)两端的伸出轴上,一对圆带支撑安装板(24)安装在前立板(20)上,一对圆带支撑板(25)分别安装在一对圆带支撑安装板(24)上,接近固定座(26)安装在圆带支撑板(25)上,接近传感器(27)安装在接近固定座(26)上,后立板(28)安装在传片连接板(19)上,三对惰轮(29)分别安装在前立板(20)、一对圆带支撑安装板(24)和后立板(28)上,一对透明圆皮带(30)分别按规则套在一对驱动轮(23)和三对惰轮(29)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造