[实用新型]一种炉式PECVD防水奈米涂布装置有效
| 申请号： | 201821542846.8 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208791751U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 杨福年;郑锡文 | 申请（专利权）人： | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 防水膜 放卷辊 加热 等离子发射器 本实用新型 涂布表面 涂布装置 防水 恒定 等离子体反应 化学反应 可拆卸连接 空气净化器 温度控制器 防水效果 固定焊接 固定设置 固态薄膜 滑槽表面 炉体内腔 有效减少 支架表面 低气压 碾压辊 真空泵 滑槽 炉体 碾压 粘附 支架 废气 净化 排放 | ||
1.一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内腔壁一侧固定设置有滑槽(2)，所述滑槽(2)表面可拆卸连接有支架(3)，所述支架(3)表面中间固定连接有一号放卷辊(4)，所述一号放卷辊(4)两侧均固定焊接有二号放卷辊(5)，所述一号放卷辊(4)一侧固定设置有等离子发射器(6)，所述炉体(1)一侧表面的底部固定设置有真空泵(7)，且真空泵(7)通过管道与等离子发射器(6)相连，所述等离子发射器(6)一侧均固定设置有一号导辊(8)，所述一号导辊(8)一侧均固定设置有加热器(9)。
2.根据权利要求1所述的一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，其特征在于：所述加热器(9)一侧固定开设有调节槽(10)，所述调节槽(10)内腔均活动设置有碾压辊(11)，所述碾压辊(11)表面均固定设置有固定器(12)。
3.根据权利要求1所述的一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，其特征在于：所述炉体(1)内腔壁另一侧的顶部固定设置有收卷辊(14)，所述收卷辊(14)一端固定连接有电机(13)。
4.根据权利要求1所述的一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，其特征在于：所述炉体(1)外表面的另一侧固定设置有温度控制器(15)，且温度控制器(15)通过导线与加热器(9)电性相连。
5.根据权利要求1所述的一种炉式PECVD防水奈米涂布装置，其特征在于：所述真空泵(7)一侧固定连接有空气净化器(16)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
