[实用新型]一种具有清洁功能的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201821546681.1 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN208829751U 公开(公告)日: 2019-05-07
发明(设计)人: 徐耀春 申请(专利权)人: 江西弘耀光学水晶有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;B08B5/04;B08B13/00
代理公司: 南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙) 36133 代理人: 罗茶根
地址: 334000 江西省上*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 镀膜机 真空镀膜机 清洁功能 支撑箱 电机 颗粒物 上表面 支撑座 底面 支架 支撑座上表面 本实用新型 电机控制器 镀膜基材 内底壁 内顶壁 皮带轮 输出端 右侧面 镀膜 风筒 风叶 转轴 残留 配合
【说明书】:

实用新型公开了一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体的底面固定连接有支撑箱,所述支撑箱的内底壁固定连接有支撑座,所述支撑座的上表面固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有第一皮带轮,所述电机的上表面固定连接有电机控制器,所述支撑箱的内顶壁固定连接有两个相对称的支架,两个所述支架的底面固定连接有风筒。该具有清洁功能的真空镀膜机,通过支撑座上表面固定连接的电机,以及转轴右侧面固定连接的风叶之间相配合,能够实现对镀膜机本体内部的颗粒物进行有效的清除,有效避免镀膜机本体内部发生颗粒物残留的情况出现,有效提升对镀膜基材的镀膜质量,有效提高镀膜机整体的使用效果。

技术领域

本实用新型涉及光学加工技术领域,具体为一种具有清洁功能的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在对镀膜基材进行镀膜时会使用到真空镀膜机,镀膜基材在镀膜过后会有较多的颗粒物残留在镀膜机的内部,过多颗粒物会对后续镀膜基材的镀膜效果产生不利影响,严重影响后续镀膜基材的镀膜质量,因此现推出一种具有清洁功能的真空镀膜机。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种具有清洁功能的真空镀膜机,解决了颗粒物容易影响镀膜基材镀膜质量的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有清洁功能的真空镀膜机,包括镀膜机本体,所述镀膜机本体的底面固定连接有支撑箱,所述支撑箱的内底壁固定连接有支撑座,所述支撑座的上表面固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有第一皮带轮,所述电机的上表面固定连接有电机控制器,所述支撑箱的内顶壁固定连接有两个相对称的支架,两个所述支架的底面固定连接有风筒,所述风筒的内壁固定连接有与风筒相适配的第一隔板,所述第一隔板的左侧面固定镶嵌有轴承,所述轴承的内圈固定连接有转轴,所述转轴的左侧面固定连接有第二皮带轮,所述第二皮带轮的外表面套设有皮带,所述皮带远离第二皮带轮的一端套设在第一皮带轮的外表面,所述转轴的右侧面固定连接有风叶,所述风筒的内壁固定连接有与风筒相适配的第二隔板,且第二隔板位于风叶的右侧,所述第二隔板的左侧面开设有等距离排列的通孔,所述第二隔板的右侧面设有过滤网,所述过滤网的外表面与风筒的内壁相接触,所述风筒的内壁固定连接有与风筒相适配的第三隔板,且第三隔板的左侧面与过滤网的右侧面相接触,所述镀膜机本体的右侧面固定连通有单向阀,所述单向阀的右侧面固定连通有第一导管,所述第一导管远离单向阀的一端贯穿支撑箱并与第三隔板的右侧面固定连通,所述支撑箱的内底壁固定连通有第二导管,所述第二导管远离风筒的一端与支撑箱的内底壁固定连通,且第二导管位于支撑座的右侧。

优选的,所述支撑箱的下方设有两个相对称的底座,每个所述底座的上表面与支撑箱的底面固定连接。

优选的,每个所述底座的底面均固定连接有防滑垫,且防滑垫的水平长度值与底座的水平长度值相等。

优选的,所述所述支撑箱的内侧壁开设有通风口,且通风口位于电机的左侧。

优选的,所述通风口的内部设有防护网,所述防护网的外表面与通风口的内壁固定连接。

优选的,所述第二皮带轮圆周直径的长度值大于第一皮带轮圆周直径的长度值,所述第二皮带轮的宽度与第一皮带轮的宽度相等。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种具有清洁功能的真空镀膜机,具备以下有益效果:

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