[实用新型]基板载台和离子注入设备有效
| 申请号： | 201821550546.4 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208608165U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘晨亮;姜东诚;傅永义;谭超;经好;李儒健;罗康;黎韬;相莎莎;方娟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板载台 基板 夹具 离子注入设备 接触件 移动件 本实用新型 基板放置区 承载面 半导体设备 基板固定 基板接触 载台本体 边缘部 台本体 异物 弧面 移动 制造 | ||
1.一种基板载台，包括载台本体，所述载台本体具有承载面，所述承载面包括用于放置基板的基板放置区，所述基板载台还包括至夹具，所述夹具用于将基板固定在所述基板放置区，其特征在于，所述夹具包括移动件和连接在所述移动件上的接触件，所述移动件能够移动以使所述接触件压在所述基板的边缘部或者离开所述基板，所述接触件与所述基板接触的部分的表面为弧面。
2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述接触件包括滚轮。
3.根据权利要求2所述的基板载台，其特征在于，所述移动件包括转动件，所述夹具还包括固定件，所述固定件固定连接在所述载台本体上，所述转动件与所述固定件转动连接，所述滚轮设置在所述转动件的朝向所述基板放置区的一侧。
4.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，在所述基板放置区的边缘部设有多个由弹性材料制成的、用于支撑基板的缓冲件，至少部分缓冲件设在所述接触件与基板接触时的接触区对应的位置。
5.根据权利要求4所述的基板载台，其特征在于，所述夹具为多个，在相邻夹具之间的基板放置区的边缘部位置处也设有所述缓冲件。
6.根据权利要求4或5所述的基板载台，其特征在于，所述缓冲件包括硅橡胶块。
7.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述载台本体中设有贯穿所述载台本体的镂空。
8.根据权利要求7所述的基板载台，其特征在于，在所述载台本体的承载面上，对应所述基板放置区的非镂空区，还设置有多个用于支撑基板的支撑块。
9.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，所述载台本体的一个侧壁上外还设置有配重块。
10.一种离子注入设备，包括离子束发生模块和基板载台，所述离子束发生模块用于沿水平方向发射离子束，所述基板载台用于将基板以竖直方式支撑，其特征在于，所述基板载台为根据权利要求1-9任意一项所述的基板载台。
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