[实用新型]一种晶圆压紧装置

权利要求书

1.一种晶圆压紧装置，包括底座(1)、托盘(9)和托座(24)，其特征在于：所述底座(1)的侧壁贯穿有插槽(2)，且插槽(2)的内侧插入有插杆(3)，所述底座(1)的上表面设置有滑槽(4)，且滑槽(4)的内部嵌入有定位螺栓(5)，所述底座(1)的上方左右两侧均安置有移动台(6)，且移动台(6)的底部与滑槽(4)之间为配合连接，所述移动台(6)的内部设置有液压缸(7)，且液压缸(7)的连接端安装有液压伸缩杆(8)，所述托盘(9)的上方左右两侧均固定有伸缩杆(10)，且托盘(9)的下方左右两侧分别与液压伸缩杆(8)靠近底座(1)竖直中心线的一端固定焊接，所述伸缩杆(10)远离托盘(9)的一端焊接有锁位板(11)，且锁位板(11)与移动台(6)之间为螺钉连接，所述移动台(6)的上方侧壁开设有凹槽(12)，且移动台(6)的上表面固定有立架(13)，所述立架(13)的中间开设有活动槽(14)，且活动槽(14)的中间嵌入有固定螺丝(16)，所述立架(13)的后侧安置有横杆(15)，且固定螺丝(16)从横杆(15)的内部贯穿，所述横杆(15)的外侧套设有滑套(17)，且滑套(17)的内部中间贯穿有气胶管(18)，所述滑套(17)的下表面固定连接有收缩弹簧(19)，且收缩弹簧(19)的下端与压盘(20)的上表面之间为熔接，所述压盘(20)的下表面开设有气口(21)，且气胶管(18)与压盘(20)相通，所述托盘(9)的内部贯通有气道(22)，且气道(22)的上方连通有气管(23)，所述托座(24)安装在气管(23)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆压紧装置，其特征在于：所述底座(1)呈八边体结构，且插槽(2)关于底座(1)的对称中心在底座(1)的内部以两个为一组均匀设置八组，并且插槽(2)的内部结构尺寸与插杆(3)的外部结构尺寸之间相互配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆压紧装置，其特征在于：所述凹槽(12)与锁位板(11)之间尺寸相吻合，且锁位板(11)与托盘(9)之间通过伸缩杆(10)构成可伸缩结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆压紧装置，其特征在于：所述固定螺丝(16)与活动槽(14)之间尺寸相互配合，且横杆(15)与立架(13)之间通过固定螺丝(16)连接，并且横杆(15)的外表面与滑套(17)的内侧面之间相互贴合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆压紧装置，其特征在于：所述气口(21)在压盘(20)的底面均匀设置，且压盘(20)与滑套(17)之间通过收缩弹簧(19)构成弹性结构。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆压紧装置，其特征在于：所述托座(24)的内部均匀开设有气流道(2401)，且托座(24)的外壁粘接有外包海绵(2402)，并且托座(24)的下方密封卡接有集气腔(2403)，而且集气腔(2403)与气流道(2401)之间均相通，同时托座(24)的底部法兰连接有马达(2404)，所述气管(23)的顶部从集气腔(2403)的下方侧壁贯穿。