[实用新型]镀膜托盘及镀膜系统

权利要求书

1.一种镀膜托盘，其特征在于，包括支撑机构、公转转盘和自转机构；

所述公转转盘安装于所述支撑机构上，且所述公转转盘能够绕自身的轴线转动；

所述自转机构安装于所述公转转盘上，所述公转转盘能够带动所述自转机构绕所述公转转盘的轴线转动，且所述自转机构与所述公转转盘转动连接；

所述支撑机构上设置有内齿圈，所述公转转盘的轴线穿过所述内齿圈的中心，所述自转机构包括工件杆和自转齿轮，所述工件杆与所述自转齿轮连接，所述自转齿轮与所述内齿圈相啮合。

2.根据权利要求1所述的镀膜托盘，其特征在于，所述自转机构还包括转轴和固定机构；所述转轴的上端与所述工件杆连接，所述公转转盘上开设有转轴通孔，所述转轴穿过所述转轴通孔；所述固定机构安装于所述公转转盘上，且所述固定机构与所述转轴连接，使得所述转轴与所述公转转盘转动连接；所述转轴的下端套设有所述自转齿轮。

3.根据权利要求2所述的镀膜托盘，其特征在于，所述固定机构包括自转轴承和自转轴承套；所述自转轴承的内圈套设于所述转轴上；所述自转轴承套套设于所述自转轴承的外圈；所述自转轴承套与所述公转转盘的上表面连接。

4.根据权利要求3所述的镀膜托盘，其特征在于，所述自转轴承套包括固定部和插接部；所述固定部安装于所述公转转盘的上表面，且所述固定部的下表面与所述公转转盘的上表面连接；所述插接部插入所述转轴通孔内。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括顶板，所述工件杆位于所述转轴与所述顶板之间，所述工件杆与所述顶板转动连接。

6.根据权利要求5所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括支撑柱；所述支撑柱位于所述公转转盘与所述顶板之间，用于支撑所述顶板。

7.根据权利要求1所述的镀膜托盘，其特征在于，所述支撑机构包括支撑板与承载轴承；所述内齿圈嵌入所述支撑板中；所述承载轴承设置于所述支撑板上，所述承载轴承与所述支撑板转动连接；所述公转转盘位于所述承载轴承的上方，且所述公转转盘的下表面与所述承载轴承的外圆表面相贴。

8.根据权利要求7所述的镀膜托盘，其特征在于，还包括限位圈和径向限位机构；所述径向限位机构位于所述公转转盘的下方，所述径向限位机构包括限位轴、限位轴承和限位轴承套；所述限位轴的一端与所述公转转盘连接，所述限位轴承的内圈套设于所述限位轴的另一端；所述限位轴承套套设于所述限位轴承的外圈；所述限位圈固定于所述支撑板的下表面，所述内齿圈的轴线穿过所述限位圈的中心，所述限位轴承套的外圆表面与所述限位圈内圆表面相贴。

9.根据权利要求8所述的镀膜托盘，其特征在于，所述径向限位机构的数量为多个，多个所述径向限位机构在所述公转转盘的下表面的一设定圆上均匀布设，所述内齿圈的轴线穿过所述设定圆的圆心。

10.一种镀膜系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的镀膜托盘。