[实用新型]一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构有效

专利信息
申请号: 201821558706.X 申请日: 2018-09-25
公开(公告)号: CN209149891U 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 郑花妍;李龙洁 申请(专利权)人: 元一铭信(天津)电子有限公司
主分类号: H01C17/28 分类号: H01C17/28
代理公司: 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人: 王来佳
地址: 300350 天津市津南*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 罐体 推进气缸 旋转装置 旋转轴 电阻镀膜 密封盖 摆转 齿条 盖体结构 后端部 可旋转 连接件 磁控 缸筒 油缸 啮合 本实用新型 活塞杆端部 摆转气缸 活动安装 开口设置 开口位置 上端固定 上方外壁 一体安装 制造装置 周向转动 轴向方向 前端部 电阻 外齿 开口 伸出
【说明书】:

实用新型涉及电阻制造装置领域,属于电阻镀膜技术领域,特别是一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构,包括罐体,所述罐体开口设置,在开口位置活动安装有一密封盖,在所述罐体上方沿轴向方向一体安装有一推进气缸,该推进气缸的活塞杆端部与密封盖上端固定安装,在所述罐体上方外壁的后端部安装有一旋转装置,该旋转装置通过一连接件与推进气缸的后端部相固定,所述旋转装置可带动推进气缸周向转动,进而带动密封盖与罐体开口发生摆转;所述旋转装置包括一摆转油缸,摆转油缸的缸筒内安装有齿条和旋转轴,位于齿条下方的缸筒内安装有旋转轴,旋转轴的后端外缘制有与齿条相啮合的外齿,旋转轴的前端部由摆转气缸内伸出与连接件的后端固定安装。

技术领域

本实用新型涉及电阻制造装置领域,属于电阻镀膜技术领域,特别是一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构。

背景技术

电阻镀膜机是电阻端电极镀膜的专用设备。现有的电阻镀膜机一般包括一罐体,所述罐体开口设置,在开口位置活动安装有一密封盖,在所述罐体上方沿轴向方向一体安装有一推进气缸,该推进气缸的活塞杆端部与密封盖上端固定安装,在活塞杆伸出状态下密封盖与罐体分离开启,在活塞杆回缩状态下密封盖与罐体闭合密封。

采用上述结构的密封盖与罐体便于密封,使用方便,但在实际使用过程中,上述装置存在一定的不足。由于现有工件是放置在罐体内的,在工件放料和取料过程中,只能由密封盖与开口位置之间形成的间隙进行操作。因此,操作人员在使用过程中十分不便,另外,如罐体中残留部分工件或需要进行维护时,则需要对密封盖和气缸进行拆卸才能进行操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种结构合理,密封盖可侧向旋转,全部开启的一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构。

本实用新型采取的技术方案是:

一种磁控电阻镀膜机可旋转盖体结构,包括罐体,所述罐体开口设置,在开口位置活动安装有一密封盖,在所述罐体上方沿轴向方向一体安装有一推进气缸,该推进气缸的活塞杆端部与密封盖上端固定安装,其特征在于:在所述罐体上方外壁的后端部安装有一旋转装置,该旋转装置通过一连接件与推进气缸的后端部相固定,所述旋转装置可带动推进气缸周向转动,进而带动密封盖与罐体开口发生摆转。

而且,所述旋转装置包括一摆转油缸,该摆转油缸的缸筒内安装有齿条和旋转轴,所述摆转油缸的缸筒两端分别制有油口,两油口之间的缸筒内安装有齿条,齿条可在缸筒内在两油口之间进行平移,位于齿条下方的缸筒内安装有所述旋转轴,所述旋转轴的后端外缘制有与齿条相啮合的外齿,旋转轴的前端部由摆转气缸内伸出与连接件的后端固定安装。

本实用新型的优点和积极效果是:

本实用新型中,通过旋转装置可带动推进气缸周向转动,进而带动密封盖与罐体开口发生摆转,使密封盖与罐体的开口位置完全错位打开,即保留原有结构便于密封的优点,操作人员也可在开放的状态下进行操作;齿条和旋转轴作为旋转装置的主要部件用于带动密封盖进行摆转。

附图说明

图1为实用新型的结构示意图;

图2为图1中旋转装置的旋转轴轴向方向的局部剖视图;

图3为旋转装置的旋转轴径向方向的局部剖视图。

具体实施方式

下面结合实施例,对本实用新型进一步说明,下述实施例是说明性的,不是限定性的,不能以下述实施例来限定本实用新型的保护范围。

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