[实用新型]一种组合式恒温吸附平台

说明书

本实用新型公开了一种组合式恒温吸附平台，包括面板、流道排组、框架和底板，面板和底板连接在框架的上下两侧面上，流道排组填充在框架内，底板上设有抽风口法兰安装孔，面板上均布开设吸附小孔，流道排组由中空的流道管并排组成，流道管的两端插接在流道排组插头的插槽内。该平台避免机器在生产加工中，由于面板温度升高而导致的变形。保证了在面板不变形的情况下降低生产成本，提高组装的便捷度和产品的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及机器或生产流水线的操作平台，尤其涉及一种组合式恒温吸附平台。

背景技术

现市场上使用的真空吸附平台，其结构是由型材焊接而成的框架固定蜂窝芯，然后分别在底和面粘结上底板和面板而成。其原理是通过蜂窝芯起到的填充支撑作用，使得整个平台的面板的平面度达很高的精度，平面度能达到0.05mm-0.15mm的精度。但正因为如此高精度的平台，其更容易受到外界环境的影响。在实际使用时，机器在运作过程中会产生高温，温度直接作用在工件和面板上，导致平台面板的温度上升。平台的面板和其他部分出现较大温差，各个部分的由于温度而产生的变形都不一致。平台面板出现严重变形，其平面度精度遭受破坏，不再符合机器所需要，加工出来的产品品质不稳定，产品出现不合格情况。

此外，我司研发的一代产品，如附图1和图2所示，采用蜂窝芯结构，为了控温，需要在面板1的板内贯穿设置多个流道1.3，流道1.3与吸附小孔1.1错位间隔排列。这增加了板件的制作难度，提高了成本且难于保证板件的形状精度。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种组合式恒温吸附平台，其能解决平台面板因外界环境影响导致的平面变形的问题的同时降低了生产成本。

本实用新型的目的采用以下技术方案实现：

一种组合式恒温吸附平台，包括面板、流道排组、框架和底板，所述面板和底板连接在所述框架的上下两侧面上，所述流道排组填充在所述框架内，所述底板上设有抽风口法兰安装孔，所述面板上均布开设吸附小孔，所述流道排组由中空的流道管并排组成，所述流道管的两端插接在流道排组插头的插槽内。

优选的，所述流道排组分别由框架内横向设置的流道插接板和流道支撑板间隔定位和平面支撑。

优选的，所述流道管的流道管管体上表面固定设置表面定位平板，在所述流道插接板的顶面上均布设置流道间隔槽，在所述流道支撑板的上表面为水平支撑板面。

优选的，所述流道插接板和流道支撑板均匀的间隔设置在所述框架的两根纵梁之间。

优选的，所述流道插接板和流道支撑板采用中空板结构。

优选的，流道排组插头的插槽间隔设置通孔使得流道排组的端部联通。

优选的，在所述框架的两个端压板上设置连接螺孔。

优选的，在所述端压板与所述流道排组插头的对接面之间设置密封物。

优选的，所述抽风口法兰安装孔41等间距的设置在所述底板上。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：使用这种恒温吸附平台，避免机器在生产加工中，由于面板温度升高而导致的面板变形。使平台的面板在整个生产过程中保持恒温，从而确保了面板的平整度，使生产的产品品质稳定。

附图说明

图1为一代产品的面板结构示意图；

图2为图1中A-A处的截面图；

图3为本实用新型的一种组合式恒温吸附平台的结构示意图；

图4为本实用新型的一种组合式恒温吸附平台的结构分解示意图；

图5为流道排组插头的结构示意图；