[实用新型]一种靶材生产用夹具

说明书

本实用新型涉及一种靶材生产用夹具，特别涉及于靶材制造技术领域。本实用新型包括支撑平台、升降气缸、升降活塞杆、支撑板、第二支架、第一夹持机构、双向夹块、第二夹持机构，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述支撑板上方依次设有所述第一夹持机构、所述双向夹块、所述第二夹持机构。不仅一次可以夹固两根根靶材，而且防滑防变形效果好，提高了靶材生产加工的稳定性和效率。

技术领域

本实用新型涉及于靶材制造技术领域，特别涉及于一种靶材生产用夹具。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

靶材生产用夹具是靶材生产加工过程中必不可少的，现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

本实用新型提供一种靶材生产用夹具，克服了现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工的缺点。

(2)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种靶材生产用夹具，包括支撑平台、升降气缸、升降活塞杆、支撑板、第二支架、第一夹持机构、双向夹块、第二夹持机构，所述支撑平台包括面板和支撑腿，所述面板和所述支撑腿之间固定有所述升降气缸，所述升降气缸的所述升降活塞杆朝上设置，所述升降活塞杆上端穿过所述面板并固定连接有所述支撑板，所述支撑板两侧均设有所述第二支架，所述第二支架上设有滑槽，所述支撑板两端固定有与所述滑槽相匹配的滑块，所述支撑板上方依次设有所述第一夹持机构、所述双向夹块、所述第二夹持机构，所述第一夹持机构包括第一气缸、第一活塞杆、第一夹块、第一凹槽、第一防滑件，所述第一气缸通过所述第一活塞杆与所述第一夹块一端相连，所述第一夹块另一端面中部开设有所述第一凹槽，所述第一凹槽内壁上设有所述第一防滑件，所述第二夹持机构包括第二气缸、第二活塞杆、第二夹块、第二凹槽、第二防滑件，所述第二气缸通过所述第二活塞杆与所述第二夹块一端相连，所述第二夹块另一端面中部开设有所述第二凹槽，所述第二凹槽内壁上设有所述第二防滑件，所述双向夹块两端面中部分别开设有左凹槽和右凹槽，所述左凹槽内壁上设有左防滑件，所述右凹槽内壁上设有右防滑件。

优选地，所述第一防滑件、所述第二防滑件、所述左防滑件、所述右防滑件上均匀分布有防滑突起。

优选地，所述第一凹槽与所述左凹槽对应设置，所述第二凹槽与所述右凹槽对应设置。

优选地，所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述左凹槽、所述右凹槽的侧壁与待测的靶材的侧面相贴合。

优选地，所述第一防滑件、所述第二防滑件、所述左防滑件、所述右防滑件的材质为橡胶材质。

(3)有益效果

本实用新型提供一种靶材生产用夹具，克服了现有的靶材生产用夹具一次只能夹固一根靶材，夹持效率低，而且夹具没有配套的防滑件和防滑颗粒，容易造成打滑及变形，影响生产加工的缺点。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、该生产用夹具一次可夹持一根或两根靶材，靶材夹持方便，提高了工作效率。

2、凹槽的设置可以较好地使靶材的侧壁很好地贴合，对靶材进行定位固定，保证了靶材生产过程的稳定性。

3、防滑件及防滑突起的设置，可以增大摩擦力，较好地防止靶材生产加工过程的晃动，提高靶材加工的准确性和效率。

4、采用气缸带动滑块和滑槽配合上下运动，方便加工时高度的灵活调节，保证气缸工作时活塞杆晃动小，工作稳定。