[实用新型]光阻旋涂装置有效
| 申请号： | 201821567138.X | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN209028410U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 黄帅 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆托盘 盖板 光阻 旋涂装置 旋转驱动装置 光阻层 主旋转 旋涂 本实用新型 气流流动 驱动转动 湍流影响 旋转装置 制造成本 均匀性 成膜 腔体 阻层 | ||
【权利要求书】：
1.一种光阻旋涂装置，其特征在于，包括：
旋转驱动装置；
位于所述旋转驱动装置上方的晶圆托盘；以及
位于所述晶圆托盘之上的盖板，所述盖板和所述晶圆托盘由所述旋转驱动装置驱动转动。
2.根据权利要求1所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述光阻旋涂装置还包括位于所述晶圆托盘四周的内腔体，所述内腔体由所述驱动装置驱动转动，并且所述盖板通过所述内腔体连动转动。
3.根据权利要求1所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述盖板通过第二转动轴(60)旋转。
4.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述内腔体设置有排液口。
5.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述盖板与所述内腔体上表面之间的距离介于0～5mm。
6.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述光阻旋涂装置还包括位于所述内腔体四周的外腔体。
7.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述盖板的直径介于150mm～550mm。
8.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述盖板上设置有排气孔。
9.根据权利要求2所述的光阻旋涂装置，其特征在于，
所述内腔体通过所述旋转驱动装置与所述晶圆托盘共轴转动。
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