[实用新型]一种管式PECVD电极杆

说明书

本实用新型属于太阳能电池片技术领域，公开了一种管式PECVD电极杆，其包括电极杆本体及电极头，电极杆本体用于连接射频电源，电极头的一端弹性连接于电极杆本体，电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。通过设置电极杆本体及可相对电极杆本体伸缩的电极头，能够在石墨舟由浆推送到电极头处时，电极头随石墨舟弹性移动，避免与石墨舟硬接触而损坏电极头或石墨舟；电极头的端部设置有若干锥状凸起，锥状凸起用于直接与石墨舟抵接，保证了电极头与石墨舟之间有效接触传导，降低电极头在大电流时的损耗，节约成本；同时，使用该管式PECVD电极杆后，石墨舟上无需设置电极孔，因此生产过程中无需区分左右手设备，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种管式PECVD电极杆。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，简称PECVD)是电池片背钝化生产过程中重要环节，其原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

随着太阳能市场的变化，降本增效将成为行业内具有竞争及生产规则。管式PECVD作为电池片背钝化生产过程中重要环节，量化指标表现为背镀膜膜厚和折射率，石墨舟内的硅片在高温情况下，射频电源(RF)通过电极杆产生大电流放电，高温及电离SiH₄、NH₃等特殊工艺气体，产生离子附着于硅片表面，通过改变SiH₄与NH₃的比例调节折射率，通过改变镀膜时间及RF功率有效值调节膜层厚度。因此，电极杆是否与石墨舟有效接触，尤为重要。

现有的管式PECVD电极杆与石墨舟接触采用硬接触，导致产生以下异常状况：

1、石墨舟上的电极孔与电极杆硬接触，容易产生石墨舟电极孔与电极杆接触不良，工艺过程中放电电流偏差报警，从而导致硅片生产后出现品质异常；并且石墨舟电极孔与电极杆未完全接触时，电极杆容易在大电流时耗损加剧，增加使用成本；

2、石墨舟通过桨推送，桨及石墨舟位置偏差时，石墨舟与电极杆相撞，致使桨推送过程中报警、设备异常损坏；

3、石墨舟电极孔与电极杆硬接触对设备左右手机台要求较高，生产过程中，人员需要转动石墨舟，使石墨舟的电极孔端朝向设备电极放射端的电极杆，生产过程中石墨舟未区分左右手设备生产时，会损坏石墨舟及电极杆。

因此，亟需一种能够与石墨舟良好接触的管式PECVD电极杆，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD电极杆，能够与石墨舟良好接触，减少异常现象的发生。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种管式PECVD电极杆，包括电极杆本体及电极头，所述电极杆本体用于连接射频电源，所述电极头的一端弹性连接于所述电极杆本体，所述电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。

作为优选，所述电极杆本体与所述电极头之间通过弹簧连接。

作为优选，所述弹簧由不锈钢制成。

作为优选，所述电极头包括抵接段及伸缩段，所述锥状凸起设置于所述抵接段的端面上；

所述电极杆本体的一端开设有容纳腔，所述伸缩段伸入所述容纳腔内且与所述电极杆本体滑动连接。

作为优选，所述弹簧设置于所述容纳腔内，且所述弹簧的一端连接于所述容纳腔的内壁，另一端连接于所述伸缩段。

作为优选，所述弹簧套设于所述伸缩段外，且所述弹簧的一端连接于所述抵接段，另一端连接于所述电极杆本体的端面。