[实用新型]观察窗结构和真空设备

说明书

本实用新型公开一种观察窗结构及真空设备，该观察窗结构用于具有真空腔的真空设备；该观察窗结构包括观察窗、遮挡板和旋转控制件；观察窗包括连接座和观察片，连接座呈两端贯通的筒状设置；观察片呈透明设置，且外边缘与连接座密封式固定连接，以遮盖连接座远离真空腔的一端开口；连接座的内壁面和观察片围合形成观察腔，连接座的侧壁上向外凸设有连接套筒；遮挡板设于观察腔内；旋转控制件包括转轴和气密组件，转轴的一端穿设连接套筒后与遮挡板连接，以带动遮挡板以转轴的轴向为中心线翻转，而遮蔽或显露观察片，连接套筒远离观察腔的一端与转轴之间设有气密组件。本实用新型的技术方案可有效维持真空设备的观察窗的洁净。

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，特别涉及一种观察窗结构和真空设备。

背景技术

目前，在真空设备，特别是真空镀膜设备中，通常设有真空腔体以及与真空腔体连通的观察窗。这样，真空设备的操作人员就能透过该观察窗很方便地观察到真空腔体内的镀膜状况以及其他现象。然而，在实际的生产过程中，真空镀膜所产生的镀膜材料分子或原子、以及其他杂质等游离物会附着于观察窗上，使得观察窗的视野清晰度降低，从而使得操作人员无法清楚准确地观察到真空腔体内的生产状况，相对造成产品的品质良率难以确定。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种观察窗结构，旨在有效维持真空设备的观察窗的洁净，从而有助于准确观察和严密监控真空设备的制程进度。

为实现上述目的，本实用新型提出的观察窗结构用于具有真空腔的真空设备，且观察窗结构与真空腔连通；该观察窗结构包括观察窗、遮挡板和旋转控制件；所述观察窗包括连接座和观察片，所述连接座呈两端贯通的筒状设置；所述观察片呈透明设置，且所述观察片的外边缘与所述连接座密封式固定连接，以遮盖所述连接座远离所述真空腔的一端开口；所述连接座的内壁面和所述观察片围合形成观察腔，所述连接座的侧壁上向外凸设有具有中空腔的连接套筒；遮挡板设于所述观察腔内；所述旋转控制件包括转轴和气密组件，所述转轴的一端从所述中空腔穿设所述连接套筒后与所述遮挡板连接，以带动所述遮挡板以所述转轴的轴向为中心线翻转，而遮蔽或显露所述观察片，所述连接套筒远离所述观察腔的一端与所述转轴之间设有所述气密组件。

可选地，所述转轴伸入所述观察腔的一端与所述遮挡板可拆卸连接。

可选地，以朝向所述遮挡板的方向为前方，所述气密组件包括在所述转轴上由前往后分别套设的第一密封圈、压垫、第二密封圈和压套；

所述旋转控制件还包括套接在所述连接套筒上的压紧螺母，所述连接套筒的外周面上邻近后端处设有第一螺纹，所述压紧螺母的内壁面设有与所述第一螺纹适配螺接的第二螺纹；

所述压紧螺母具有经旋转向前移动的拧紧状态和经旋转向后移动的松开状态；所述连接套筒邻近后端的内壁面上凹设有呈后开口设置的限位槽，所述压紧螺母的后端朝向所述转轴外周面凸出形成有环状设置的凸缘，在所述拧紧状态时，所述凸缘与所述压套的后端面抵接以推动所述压套向前运动，所述压垫的前端面与所述限位槽的槽底面抵接。

可选地，所述压垫沿直径方向的截面呈朝向所述压垫的中心渐缩的锥台状设置，具有在沿朝向所述压垫的中心的方向上向后倾斜的第一斜面，以及在沿朝向所述压垫的中心的方向上向前倾斜的第二斜面。

可选地，所述第一密封圈和所述第二密封圈均由弹性材质制成，在所述拧紧状态时，所述第一密封圈受所述压垫挤压而沿所述第一斜面逐渐向中心缩小体积以箍紧所述转轴；所述第二密封圈受所述压套挤压而沿所述第二斜面逐渐向中心缩小体积以箍紧所述转轴。

可选地，所述转轴的外表面上凸设有位于所述压套后端的限位挡片，在所述松开状态，所述压紧螺母可退后至与所述限位挡片接触。

可选地，所述转轴远离所述遮挡板的一端设有旋钮，所述旋钮通过若干紧定螺钉锁紧于所述转轴上。