[实用新型]一种电阻式薄膜压力传感器

说明书

一种电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的引线，两引线之间形成有间隔，所述隔离结构形成有对应间隔的至少一开口，传感器受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述开口位置处形成接触，导通两引线，本实用新型电阻式薄膜压力传感器线性更好、精准度高、稳定性更佳，压力感应范围更大、更耐磨、抗氧化好等，可以满足苛刻的使用环境，广泛应用于各行各业。

技术领域

本实用新型涉及传感器技术领域，特别是涉及一种电阻式薄膜压力传感器。

背景技术

传感器技术与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。其中，传感器技术是一项相对通信技术和计算机技术落后的瓶颈工业。传统传感器因功能、特性、体积等难以满足现代计算机技术、通信技术对精度、可靠性、抗环境性、信息处理能力等要求而逐渐被淘汰。

薄膜压力传感器是随着薄膜技术的发展而诞生的一种性能优良的新型压力传感器，其采用高精密印刷技术，具有精度高、工作温度范围宽、稳定性好等优良特点。现有薄膜压力传感器一面为银浆导电线路层，另一面为高电阻层，所述银浆线路层与高电阻层彼此分离。当传感器受压变形时，银浆线路层与高电阻层相接触，随着两者接触的紧密程度的增加，两者之间的电流增加，从而改变传感器的输出电阻。上述结构的薄膜压力传感器，通过改变银浆线路层与高电阻层的接触紧密程度来改变输出电阻，其灵敏度和电阻变化范围受银浆线路层的电路的疏密程度限制，压力感应范围、稳定性和线性难以满足要求。

发明内容

有鉴于此，提供一种高精准度的电阻式薄膜压力传感器。

一种电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的引线，两引线之间形成有间隔，所述隔离结构形成有对应间隔的至少一开口，所述电阻式薄膜压力传感器受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述开口位置处形成接触，导通两引线。

较佳地，所述每一开口在两引线之间横向延伸，开口的轮廓线由开口的中央向两端为光滑的渐变线，所述电阻式薄膜压力传感器对应开口中央位置形成易接触区、对应开口两端位置形成难接触区。

较佳地，所述开口中央的宽度大于开口两端的宽度。

较佳地，所述高阻碳油层包括两分离的部分，每一部分覆盖一引线，所述两部分之间形成间隙，所述间隙对应开口中央。

较佳地，所述两引线相对设置，每一引线包括线状延伸的本体以及由本体朝向另一引线延伸的若干分支，所述开口的两端分别延伸至对应一引线的分支之间。

较佳地，所述隔离结构包括一体形成于高阻碳油层上的隔离层以及粘结于第一、第二导电结构之间的环形隔离件，所述开口形成于隔离层上。

较佳地，所述隔离件上形成有断口。

较佳地，所述隔离结构为薄片状的隔离件，粘结于第一、第二导电结构之间。

较佳地，所述电阻式薄膜压力传感器整体呈椭圆薄片状。

较佳地，所述电阻式薄膜压力传感器整体呈方形薄片状。

相较于现有技术，本实用新型电阻式薄膜压力传感器在其隔离结构上形成开口，使传感器电阻与压力呈对应关系，从而线性更好、精准度高、稳定性更佳，压力感应范围更大、更耐磨、抗氧化好等，可以满足苛刻的使用环境，广泛应用于各行各业。

附图说明