[实用新型]一种单晶炉热场轴保温结构有效

专利信息
申请号: 201821584172.8 申请日: 2018-09-28
公开(公告)号: CN208869714U 公开(公告)日: 2019-05-17
发明(设计)人: 赵建;葛文星;朱敏 申请(专利权)人: 江苏双良新能源装备有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 代理人: 隋玲玲
地址: 214444 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石墨轴 本实用新型 单晶炉热场 保温结构 石墨坩埚 阻热 整体功率消耗 加热器 不锈钢轴 降低功率 热量带走 上端 隔热性 上套 下端 轴托 埚托 消耗
【权利要求书】:

1.一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:包括加热器(1)、石墨坩埚(2)和石墨轴(5),所述石墨轴(5)设置在炉底(8)的中心,所述石墨轴(5)的上端通过轴托(4)连接石墨坩埚(2)的埚托(3),所述石墨轴(5)的下端连接不锈钢轴(9),所述石墨轴(5)上套接阻热环(7)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:所述阻热环(7)为圆筒结构,所述阻热环(7)上均布有多个固定孔。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:所述阻热环(7)的内壁上设有螺孔,所述石墨轴(5)和不锈钢轴(9)上均设有与螺孔相匹配的螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:所述阻热环(7)为耐温耐压低传热系数材料。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:阻热环(7)为碳碳复合材料。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场轴保温结构,其特征在于:所述炉底(8)的上表面还设有底部保温层(6)。

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