[实用新型]一种水冷式射频中和器

权利要求书

1.一种水冷式射频中和器，其特征在于，包括有维持极、隔离块、第一电极组件、第二电极组件、中空电极组件、中和器本体、水冷底盘、进水管、冷却管、出水管以及法兰接口；所述水冷底盘固定在所述法兰接口上；所述水冷底盘的顶部向下凹设有冷却槽，所述中和器本体固定安装在所述冷却槽内，所述维持极通过隔离块固定设置在所述中和器本体上；所述水冷底盘的顶部于冷却槽侧边处向下凹设有电极槽，所述第一电极组件的第一导电端穿过电极槽和中和器本体后与所述维持极的电源端电性连接，所述第一电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述第二电极组件的第一导电端穿过电极槽与中和器本体的第一电源端电性连接，所述第二电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述中空电极组件的第一导电端与中和器本体的第二电源端电性连接，所述第二电极组件的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接；所述水冷底盘的底部向上凹设有冷管槽；所述冷却管固定设置在所述冷管槽内，所述进水管固定在冷却管的进水端并与所述冷却管连通，所述进水管固定在冷却管的出水端并与所述冷却管连通。

2.根据权利要求1所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述中和器本体包括有屏蔽内壳、外罩壳、导热片、射频线圈、螺旋罩、支撑底板以及屏蔽外壳；所述支撑底板固定设置在所述冷却槽内；所述螺旋罩固定在所述支撑底板上并与所述螺旋罩形成有电离腔室；所述屏蔽内壳固定设置在所述支撑底板于电离腔室内壁处；所述射频线圈环设于螺旋罩上；所述导热片固定在所述水冷底盘于冷却槽处；所述屏蔽内壳固定设置在所述导热片上；所述屏蔽外壳盖设固定在所述水冷底盘上。

3.根据权利要求2所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述第一电极组件包括有第一电极和第一电极套；所述电极槽包括有第一电极槽；所述第一电极套镶嵌固定设置在所述第一电极槽内，所述第一电极的第一导电端穿过第一电极套、导热片以及屏蔽外壳后与所述维持极的电源端电性连接，所述第一电极的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述第二电极组件包括有第二电极和第二电极套；所述电极槽包括有第二电极槽；所述第二电极套镶嵌固定设置在所述第二电极槽内，所述第二电极的第一导电端穿过第二电极套与所述射频线圈电性连接，所述第二电极的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接。

5.根据权利要求2所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述中空电极组件包括有中空电极和中空电极套；所述水冷底盘的顶部于冷却槽中心处向下凹设有中空电极槽；所述中空电极套镶嵌固定设置在所述中空电极槽内，所述中空电极的第一导电端穿过中空电极套并伸入至电离腔室内，所述中空电极的第二导电端穿过水冷底盘和法兰接口与外部电源电性连接。

6.根据权利要求2-5中任一项权利要求所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述外罩壳的顶部设有上沿台阶，所述射频线圈位于上沿台阶下。

7.根据权利要求6所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述螺旋罩为圆柱形腔体，所述螺旋罩于远离中空电极组件的一端中部开设有发射孔。

8.根据权利要求7所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述螺旋罩的外侧壁设有螺旋线槽，所述射频线圈螺旋设于螺旋线槽内。

9.根据权利要求1所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述水冷式射频中和器还包括有连接柱；所述隔离块固定在中和器本体上，所述维持极固定在隔离块上，所述连接柱依次穿过维持极和隔离块后与所述第一电极电性连接。

10.根据权利要求1所述的一种水冷式射频中和器，其特征在于：所述水冷式射频中和器还包括有法兰底板，所述法兰底板固定设置在所述法兰接口上。