[实用新型]一种高纯氮气纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种高纯氮气纯化装置，包括安装座，所述安装座的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐，所述吸附罐的顶部外壁设置有导气管，且导气管远离吸附罐的一侧外壁焊接有反应釜，所述安装座的顶部外壁设置有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁和反应釜的底部外壁焊接，所述反应釜的一侧内壁焊接有导热板，且导热板的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜的一侧内壁设置有电热丝。本实用新型延长高纯氮气通过活性炭的接触时间，确保高纯氮气中的微量烷烃类、油类杂质被彻底吸附，可以氧气消耗完毕，并且氧气与磷粉的反应产物可以回收用于磷酸类产品的加工，同时硅胶板吸水后通过干燥可以重复利用，节约了成本。

技术领域

本实用新型涉及氮气纯化技术领域，尤其涉及一种高纯氮气纯化装置。

背景技术

在半导体工业过程中，经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。

目前，从高纯氮气的生产工艺中，不可避免的会带入微量的烷烃类、油脂类杂质，当高纯氮气直接与高纯试剂产品接触时，微量的烷烃类、油脂类杂质更易溶于高纯试剂等有机溶剂，会对高纯试剂产品造成二次污染，导致高纯试剂产品质量不合格，并且现有的制备工艺中，用于吸收杂质的金属液体在吸附完杂质后不能重复利用，造成了资源浪费，因此，亟需设计一种高纯氮气纯化装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高纯氮气纯化装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高纯氮气纯化装置，包括安装座，所述安装座的顶部外壁开有凹槽，且凹槽的内壁设置有吸附罐，所述吸附罐的顶部外壁设置有导气管，且导气管远离吸附罐的一侧外壁焊接有反应釜，所述安装座的顶部外壁设置有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁和反应釜的底部外壁焊接，所述反应釜的一侧内壁焊接有导热板，且导热板的顶部外壁放置有磷粉，所述反应釜的一侧内壁设置有电热丝，且电热丝位于导热板下方，所述反应釜的底部外壁设置有连接管，且连接管的外壁通过螺栓连接有止回阀，所述安装座的顶部外壁设置有立柱，且立柱的顶部外壁焊接有干燥筒，所述干燥筒的顶部外壁和连接管的一侧外壁焊接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述干燥筒的顶部外壁设置有干燥管，且干燥管的内壁设置有若干等距离的分布的分子筛。

作为本实用新型再进一步的方案：所述安装座的顶部外壁设置有收集罐，且收集罐的顶部外壁和干燥管的底部外壁焊接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述收集罐的一侧外壁开有螺纹槽，且螺纹槽的内壁螺纹连接有出气管，出气管的外壁通过螺栓连接有控制阀。

作为本实用新型再进一步的方案：所述吸附罐的一侧外壁开有螺纹孔，且螺纹孔的内壁螺纹连接有进气管。

作为本实用新型再进一步的方案：所述吸附罐的两侧内壁均设置有若干等距离分布的导流板，且导流板的顶部外壁粘接有活性炭吸附板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述干燥筒的一侧内壁设置有隔板，且隔板的顶部外壁开有若干等距离分布的通气孔，干燥筒的一侧内壁焊接有硅胶板，且硅胶板分为上中下三层板。

本实用新型的有益效果为：

1.通过设置的吸附罐、导流板和活性炭吸附板，可以延长通过吸附罐的吸附路径，延长高纯氮气通过活性炭的接触时间，确保高纯氮气中的微量烷烃类、油类杂质被彻底吸附；

2.通过设置的反应釜、导热板和电热丝，可以使混有氧气的氮气与导热板上的磷粉反生反应，将氧气消耗完毕，并且氧气与磷粉的反应产物可以回收用于磷酸类产品的加工；