[实用新型]一种适用于量产的硅片合片装置有效
申请号: | 201821589309.9 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN209016079U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 梁小静;刘慎思;陶智华;郑飞 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人: | 许丽 |
地址: | 201112 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 导向单元 推片器 合片装置 下料单元 工作台 量产 上料 推片 本实用新型 推手 石英舟 合片 推入 传输 | ||
本实用新型公开了一种适用于量产的硅片合片装置,其特征在于,包括:工作台(8)、置于工作台(8)上的推片单元、导向单元(3)以及下料单元;所述推片单元包括推片器(6)、置于推片器(6)上的推手(1),上料片篮(2);所述上料片篮(2)用于放置待合片的硅片,由推片器(6)推入导向单元(3);所述下料单元包括石英舟(4),用于接收由导向单元(3)传输的硅片。
技术领域
本发明涉及规模化量产工艺的硅片合片装置的制备方法的研究,尤其是涉及一种硅片合片装置,使之满足硅片材料不同工装之间周转的需求。
背景技术
随着光伏市场的蓬勃发展,太阳能电池迎来了快速发展的阶段。随着太阳能电池技术的愈加成熟,对电池成本控制的要求愈加严苛。晶体硅太阳能电池要想继续保持竞争力、获得更大的发展与应用,除了进一步提高转换效率,同时需要降低生产成本。
太阳能电池制备过程中设计到制绒、扩散、刻蚀、PE、丝网印刷等常规工序,各个工序之间用于装载硅片的工装不尽相同,初期需要大批操作人员进行插片、卸片的动做,即增加了人工成本,也增大了电池碎片率及人为操作引入污染的风险;如何进行各个工序之间流畅运转硅片且不引起脏污、碎片的出现一度成为太阳能设备厂商攻关的课题。目前,太阳能电池各工序之间硅片流转主要依靠自动化设备进行。此设备优点是解决了人为插片的难题,降低人工成本;同时保养得当的情况下不会引入污染,保证硅片表面的洁净度,为高效电池制备奠定了基础;不足之处在于:
a、自动化设备尺寸均较大,需要预留足够的空间;
b、一种设备对应一套特定的工装,且不易进行改造,兼容性差;
c、设备成本高,且需要外围提供压缩空气等,进一步增加运行成本;
d、需要定期维护及保养。
针对上述问题,本发明通过设计一种硅片的合片装置,在满足工艺化量产需求的基础上,完美解决了以上问题,设计出一种低成本、占地面积小、无需维护且不需要外围提供任何供给的硅片合片装置,适宜于太阳能行业规模化量产需求。
实用新型内容
本实用新型提出了一种适用于量产的硅片合片装置,其特征在于,包括:工作台8、置于工作台8上的推片单元、导向单元3以及下料单元;
所述推片单元包括推片器6、置于推片器6上的推手1,上料片篮2;所述上料片篮2用于放置待合片的硅片,由推片器6推入导向单元3;
所述下料单元包括石英舟4,用于接收由导向单元3传输的硅片。
优选地,所述工作台8上设置有导轨7,上料片篮2下方设置有承载板,所述承载板带动所述上料片篮2在所述导轨7上滑动。
优选地,所述工作台8整体沿导向单元3的径向倾斜,用于将所述上料片篮2中的硅片贴于所述上料片篮2的一侧壁。
优选地,所述倾斜的倾角小于30°。
优选地,所述导向单元3与所述硅片接触的底面,设置有缝隙,所述缝隙在与所述导向单元3垂直并且远离所述上料片篮2的方向上,采用前大后小的方式,用于硅片在进下料装置前保持方向及间距一致。
优选地,所述上料片篮2的尺寸根据具体硅片的形状而定制。
本实用新型的有益效果:
该装置适用于将不同规格的工装导入统一的工装内。本实用新型优势在于满足工业规模化量产需求,操作简单易上手,可替代同功能的自动化上料装置。与此类自动化装置相比,本发明具有操作简单、碎片率低、成本低、占地空间小、无需额外的外围需求等优势;本实用新型另一优势即可根据客户需求进行定制,满足不同材料及尺寸的需求,适用范围更广。
附图说明
以下将结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的