[实用新型]一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构

说明书

本实用新型涉及一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构，包括底盘冷却夹套、尾气管冷却管夹套、尾气管和隔离封板，所述隔离封板位于尾气管和尾气管冷却管夹套之间，将底盘冷却夹套与尾气管冷却管夹套隔开，所述尾气管冷却管夹套上设有第一进水口、第二进水口和第二出水口，所述第一进水口位于隔离封板的上方，所述第二进水口和第二出水口位于隔离封板的下方，所述底盘冷却夹套上设有第一出水口。本实用新型既可以保证四氟套的使用寿命，拆棒时无需置换低温水，操作方便，又可以回收冷却水余热，达到综合节能降耗效果。

技术领域

本实用新型涉及一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构。

背景技术

改良西门子法生产多晶硅的反应温度都在1100℃左右，而常规金属无法承受这么高的温度，所以需要对其进行冷却。还原炉冷却水主要有三块：（1）钟罩高温冷却水；（2）中温底盘冷却水；（3）低温电极冷却水，其中高温水可以通过闪蒸蒸汽来回收热量，而中温水、低温水则通过板换、冷却塔冷却后循环使用，其热量无法有效回收，白白浪费了。因此为了回收底盘冷却水的热量，国内已有部分厂家将底盘水改为高温水，采用高温底盘冷却水，虽然解决了热量回收的问题，但是也带来了新问题，因水温过高，加快了一些非金属绝缘件的老化速度，如缩短了四氟套的使用寿命，并且拆棒时需置换低温水，操作麻烦，加长了辅助操作时间，影响还原炉年产能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供了一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构，既可以保证四氟套的使用寿命，拆棒时无需置换低温水，操作方便，又可以回收冷却水余热，达到综合节能降耗效果。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构，包括底盘冷却夹套、尾气管冷却管夹套、尾气管和隔离封板，所述隔离封板位于尾气管和尾气管冷却管夹套之间，将底盘冷却夹套与尾气管冷却管夹套隔开，所述尾气管冷却管夹套上设有第一进水口、第二进水口和第二出水口，所述第一进水口位于隔离封板的上方，所述第二进水口和第二出水口位于隔离封板的下方，所述底盘冷却夹套上设有第一出水口。

优选的，所述底盘冷却夹套内的冷却水为一级冷却水，采用60-90℃的中温水。

优选的，所述尾气管冷却管夹套内的冷却水为二级冷却水，采用130-150℃的中温水。

优选的，所述第一进水口紧贴隔离封板，所述第二出水口紧贴隔离封板。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：通过结构分析、优化设计，根据底盘结构及功能的差异，将原底盘冷却系统一分为二：底盘冷却夹套占底盘冷却系统的换热量约20%，其功能主要是冷却上面板、电极座、四氟套等，为避免高温水加速四氟套的老化等问题，该冷却腔仍采用中温水，放弃该部分热量的回收；尾气管冷却夹套占底盘冷却系统的换热量约80%，其功能是冷却尾气管道，尾气管材质一般采用奥氏体不锈钢或者800H等镍基合金，可承受更高的底盘水温，因此该腔改用高温水，高温水经换热升温后，采用闪蒸蒸汽等方式回收热量；这样既可以获得中温底盘冷却水的便利（不影响四氟套的使用寿命，拆棒时无需置换低温水，操作方便），又可以回收绝大部分底盘冷却水余热（80%），达到综合节能降耗效果。

附图说明

图1为现有技术中多晶硅还原炉底盘冷却结构示意图。

其中：底盘冷却夹套1.1；尾气管冷却管夹套1.2；尾气管1.3；进水口1.4；出水口1.5；上面板1.6；四氟套1.7；电极座1.8。

图2为本实用新型多晶硅还原炉底盘冷却结构示意图。

底盘冷却夹套2.1；尾气管冷却管夹套2.2；尾气管2.3；隔离封板2.4；第一进水口2.5；第一出水口2.6；第二进水口2.7；第二出水口2.8；上面板2.9；四氟套2.10；电极座2.11。

具体实施方式