[实用新型]一种碎片清理装置

权利要求书

1.一种碎片清理装置，其特征在于，包括本体(21)、基片承载机构(9)、驱动机构和碎片清理机构；

所述基片承载机构(9)放置在所述本体(21)内，用于驱动所述碎片清理机构移动的所述驱动机构设在所述本体(21)上；

所述驱动机构和所述碎片清理机构配合清理所述基片承载机构(9)中任意位置的碎片。

2.如权利要求1所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片清理机构包括：

用于清理所述基片承载机构(9)上的碎片的吸尘器(7)；以及

用于将碎片上的压片(11)取出的机械手(6)。

3.如权利要求2所述的碎片清理装置，其特征在于，所述驱动机构包括第一横向导轨(1)、第二横向导轨(10)和纵向导轨(3)；

所述第一横向导轨(1)和第二横向导轨(10)在同一水平面内平行且对称固定在所述本体(21)上表面的两侧，其上分别设有可沿导轨往复滑动的第一横向滑块(19)和第二横向滑块(18)；

所述纵向导轨(3)的两端分别与所述第一横向滑块(19)和所述第二横向滑块(18)固定连接，在所述纵向导轨(3)上设有可沿轨道往复滑动的第一纵向滑块(16)和第二纵向滑块(17)；

所述机械手(6)固定在所述第一纵向滑块(16)的下方，所述吸尘器(7)固定在所述第二纵向滑块(17)的下方。

4.如权利要求3所述的碎片清理装置，其特征在于，

所述第一横向滑块(19)和所述第二横向滑块(18)上分别固定连接有第一横向电机(2)和第二横向电机(8)，所述第一纵向滑块(16)和所述第二纵向滑块(17)上分别固定连接有第一纵向电机(4)和第二纵向电机(5)。

5.如权利要求3所述的碎片清理装置，其特征在于，还包括传送装置，用于将所述基片承载机构(9)传送到所述本体(21)之中。

6.如权利要求5所述的碎片清理装置，其特征在于，

位于所述本体(21)中的所述基片承载机构(9)的下方设有碎片托盘(14)，用于收集掉落的碎片。

7.如权利要求1-6任一项所述的碎片清理装置，其特征在于，还包括用于协助所述碎片清理机构清理碎片的碎片翻转机构，所述碎片翻转机构与所述基片承载机构(9)可拆卸地连接。

8.如权利要求7所述的碎片清理装置，其特征在于，

所述碎片翻转机构包括翻转电机(13)以及与所述翻转电机(13)的旋转输出轴固定连接的翻转轴(12)，所述翻转轴(12)与所述基片承载机构(9)可拆卸地固定连接。

9.如权利要求8所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片翻转机构还包括至少一个升降气缸(15)；

所述升降气缸(15)设在所述翻转轴(12)的下方，用于驱动所述翻转轴(12)的升降。

10.如权利要求9所述的碎片清理装置，其特征在于，所述碎片翻转机构还包括两个连接板(20)；

所述翻转轴(12)的两端分别可转动地固定在两个所述连接板(20)上；

所述升降气缸(15)的数量为两个，两个所述升降气缸(15)的升降杆分别与两个所述连接板(20)的底部固定连接，用于共同驱动所述翻转轴(12)的升降。