[实用新型]磁控溅射传输装置

说明书

本申请涉及一种磁控溅射传输装置，其包括导轨、车体、第一绝缘装置和遮挡装置。所述车体沿所述导轨所在方向运动，且所述车体与所述导轨间隔设置。所述第一绝缘装置设置于所述导轨与所述车体之间。所述遮挡装置遮挡所述第一绝缘装置。所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。本申请提供的所述磁控溅射运输装置提高了所述第一绝缘装置的绝缘稳定性和可靠性，从而杜绝了放电现象的产生，防止镀膜膜层出现电弧纹现象。

技术领域

本申请涉及磁控溅射镀膜领域，特别是涉及一种磁控溅射传输装置。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。磁控溅射镀膜是一种现代工业常用的镀膜工艺。磁控溅射镀膜是在真空系统条件下，将工艺气体氩气与反应气体通入腔室内。使用高强电压，使氩气电离。氩离子在电场和磁场的共同作用下撞击靶材，使得目标原子获得一个动量，飞向基板，从而沉积到基板表面行成镀膜效果。

磁控溅射镀膜是薄膜太阳能电池加工的重要过程。在薄膜太阳能电池生产的磁控溅射镀膜过程中，需要使用传输装置带动玻璃基板进行运动，从而达到传动效果。传输装置的车体与导轨需要保持绝缘。因此，人们在车体与导轨之间设置绝缘装置来保证传输装置车体与导轨之间的绝缘状态。

然而，这样结构的运输装置绝缘效果不可靠，容易出现放电现象，从而导致镀膜膜层出现电弧纹现象。

实用新型内容

针对以上技术问题，本申请提供一种磁控溅射传输装置。

一种磁控溅射传输装置，包括：

导轨；

车体，所述车体沿所述导轨所在方向运动，且所述车体与所述导轨间隔设置；

第一绝缘装置，设置于所述导轨与所述车体之间；

遮挡装置，遮挡所述第一绝缘装置，所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。

在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述车体，且所述遮挡装置与所述导轨不接触。

在其中一个实施例中，所述遮挡装置通过绝缘紧固件固定于所述车体。

在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述导轨，且所述遮挡装置与所述车体不接触。

在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述第一绝缘装置，且所述遮挡装置与所述导轨和所述车体均不接触。

在其中一个实施例中，所述第一绝缘装置包括多个第一绝缘块，多个所述第一绝缘块间隔固定于所述导轨与所述车体之间。

在其中一个实施例中，所述车体包括支撑框架，所述第一绝缘装置设置于所述支撑框架外边缘。

在其中一个实施例中，所述支撑框架内边缘设置第二绝缘装置。

在其中一个实施例中，所述第二绝缘装置包括多个第二绝缘块，多个所述第二绝缘块间隔设置于所述支撑框架内边缘。

在其中一个实施例中，所述导轨与所述第一绝缘装置接触部分表面包覆有绝缘镀膜。

本申请实施例提供的所述磁控溅射运输装置包括导轨、车体、第一绝缘装置和遮挡装置。所述遮挡装置遮挡所述第一绝缘装置，且所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。磁控溅射过程中所述遮挡装置遮挡溅射气氛，使得所述第一绝缘装置不会被金属镀层包覆。因此，所述第一绝缘装置不会出现绝缘失效现象。本实施例提供的所述磁控溅射运输装置提高了所述第一绝缘装置的绝缘稳定性和可靠性，从而杜绝了放电现象的产生，防止镀膜膜层出现电弧纹现象。

附图说明

图1为本申请一个实施例提供的磁控溅射传输装置正视图；