[实用新型]蒸镀加热系统及蒸镀系统有效
| 申请号： | 201821592777.1 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN209113979U | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 肖新来 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液位监测装置 加热装置 激光 蒸镀 加热系统 控制装置 发送控制指令 加热温度控制 液态金属液位 速率控制 液面监控 液态金属 液位信号 蒸镀系统 监测 申请 蒸发 | ||
1.一种蒸镀加热系统(10)，其特征在于，包括：
容器(100)，用于放置液态金属；
加热装置(300)，设置于所述容器(100)，用于加热所述液态金属；
激光液位监测装置(400)，设置于所述容器(100)，用于监测液态金属液位；
控制装置(500)，所述控制装置(500)与所述加热装置(300)和所述激光液位监测装置(400)连接，用于接收所述激光液位监测装置(400)监测的液位信号，并发送控制指令至所述加热装置(300)。
2.根据权利要求1所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，所述控制装置(500)包括：
液位采集器(510)，所述液位采集器(510)与所述激光液位监测装置(400)连接，用于采集所述液态金属液位信息；
处理器(520)，所述处理器(520)与所述液位采集器(510)连接，用于接收、处理所述液态金属液位信息，并计算、输出控制信息；
控制器(530)，所述控制器(530)与所述处理器(520)和所述加热装置(300)连接，用于根据所述控制信息控制所述加热装置(300)。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，所述激光液位监测装置(400)包括：
激光发射器(410)，设置于所述容器(100)，用于向所述液态金属液面发射激光；
激光接收器(420)，设置于所述容器(100)，用于接收经所述液态金属液面反射的激光，所述激光接收器(420)与所述控制装置(500)连接。
4.根据权利要求3所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，所述激光液位监测装置(400)还包括：
光电转换器(430)，与所述激光接收器(420)和所述控制装置(500)连接，用于将光信号转换为电信号。
5.根据权利要求3所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，所述激光发射器(410)和所述激光接收器(420)分别设置于所述容器(100)相对的两个侧壁。
6.根据权利要求3所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，所述容器(100)与所述激光发射器(410)相对的一侧设置窗体(110)，所述激光接收器(420)设置于所述窗体(110)远离所述激光发射器(410)的一侧。
7.根据权利要求1所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，还包括：
温度监测装置(600)，设置于所述容器(100)，所述温度监测装置(600)与所述控制装置(500)连接，用于监测所述液态金属的温度。
8.根据权利要求1所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，还包括：
液位报警装置(700)，所述液位报警装置(700)与所述控制装置(500)连接，用于当所述液态金属液位低于预设阈值时报警。
9.根据权利要求1所述的蒸镀加热系统(10)，其特征在于，还包括：
显示装置(800)，所述显示装置(800)与所述控制装置(500)连接，用于显示所述液态金属液位。
10.一种蒸镀系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的蒸镀加热系统(10)。
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