[实用新型]一种用于原位电子背散射衍射研究的样品夹持装置

说明书

本实用新型涉及一种用于原位电子背散射衍射研究的样品夹持装置。该样品夹持装置由两个加载夹具和两个固定夹具组成，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均固定在扫描电镜中的拉伸台上；加载夹具Ⅰ上安装有固定夹具Ⅰ，加载夹具Ⅱ上安装有固定夹具Ⅱ，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均包括可固定在拉伸台上水平设置的固定端和与固定端一体式构成且呈70°夹角倾斜设置的加载端，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均分别通过螺丝和销钉与拉伸台相连接，两个加载夹具通过螺丝和销钉与固定夹具连接。本实用新型具有结构简单，性能可靠，制作成本低，兼容性好，安装简便，便于操作的特点。

技术领域

本发明涉及微观测试表征技术领域，特别地，涉及一种用于原位电子背散射衍射研究的样品夹持装置及测试方法。

背景技术

电子背散射衍射技术主要用来分析晶体取向信息、织构和界面结构特征等，已在多晶体固体材料微观组织结构研究及晶体取向表征中被广泛应用。该技术优势在于保留了扫描电镜的常规功能，同时给出了亚微米区域的晶体学数据，将显微组织和晶体学分析相结合。与其他取向表征技术相比，如X 衍射和透射电子显微分析，电子背散射衍射技术还有微区、快速等特点，更适合对实际多晶体固体材料的评价表征，是研究材料晶体学特征的一种全新手段。

原位电子背散射衍射技术可在亚微米尺度上直接观察应力应变作用下多晶体塑性变形过程，定性的说明宏-微观不均匀塑性变形和显微组织与晶体学取向之间的关系，以及微裂纹萌生与扩展的晶体学特征，而且还可以定量的描述裂纹断裂面两侧晶体的取向差，是研究材料宏观变形行为和显微组织织构变化的内在联系和演变规律强有力的方法和工具。

常规的扫描电镜原位力学实验与原位电子背散射衍射分析实验都需要一个力学加载装置，通常扫描电镜选配的拉伸台就是典型的力学加载装置。与常规的扫描电镜原位力学实验时样品观察表面与入射电子束是接近90°夹角不同的是，实施原位电子背散射衍射分析实验要求样品观察表面与入射电子束的夹角为70°。这就要求原位电子背散射衍射分析实验时，放置样品的平台与扫描电镜的镜筒为70°角。虽然扫描电镜的样品台可以旋转满足这一角度要求，但是，扫描电镜样品室的空间大小、拉伸台的大小以及电子背散射衍射接收探头易碎且价格昂贵，考虑到这些因素，常规的拉伸台很难实施原位电子背散射衍射分析实验。目前可以满足这一条件的商业化的产品不多，且价格昂贵，极大地阻碍了该技术的应用。

发明内容

为了克服现有实现原位电子背散射衍射分析技术的原位力学加载装置价格昂贵、安全性低等缺点，本发明提供一种能够兼容常见扫描电镜中的拉伸台的样品夹持装置，将该装置安装到扫描台上，可以满足原位电子背散射衍射研究中样品的空间配置，实现利用常规扫描电镜中的拉伸台完成原位电子背散射衍射观察。

本发明是这样实现的，一种用于原位电子背散射衍射研究的样品夹持装置，由两个加载夹具和两个固定夹具组成，其中：

两个加载夹具包括加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均固定在扫描电镜中的拉伸台上；加载夹具Ⅰ上安装有固定夹具Ⅰ，加载夹具Ⅱ上安装有固定夹具Ⅱ，固定夹具Ⅰ和固定夹具Ⅱ之间的拉伸样品通过加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ所夹持固定在固定夹具Ⅰ和固定夹具Ⅱ之上，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ上用于夹持放置拉伸样品的平面与水平面之间呈70°夹角，拉伸样品的一端通过固定夹具Ⅰ固定在加载夹具Ⅰ上，拉伸样品的另一端通过固定夹具Ⅱ固定在加载夹具Ⅱ上，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均包括可固定在拉伸台上水平设置的固定端和与固定端一体式构成且呈70°夹角倾斜设置的加载端，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ的固定端上均分别设置有螺丝孔和定位销钉孔，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ均分别通过螺丝和销钉与拉伸台相连接，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ二者的加载端内侧分别设置有与两个固定夹具的固定端呈70°夹角倾斜设置的样品放置区，加载夹具Ⅰ和加载夹具Ⅱ二者加载端的样品放置区按照前、后交错的方式布置，加载夹具Ⅰ的加载端上设置有用于安装固定夹具Ⅰ的螺丝孔和定位销钉孔，加载夹具Ⅱ的加载端上设置有用于安装固定夹具Ⅱ的螺丝孔和定位销钉孔，两个加载夹具通过螺丝和销钉与固定夹具连接；