[实用新型]一种用于探针退火处理的精准控温装置有效
| 申请号： | 201821596843.2 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN209383763U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 王锐;杜江涛;万忠民;周飚;谭国甫;陈曦;黄泰明 | 申请（专利权）人： | 深圳市艺盛科五金电子有限公司 |
| 主分类号： | C12M1/00 | 分类号： | C12M1/00;C12M1/38;C12M1/34 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 沈成金 |
| 地址： | 518101 广东省珠海市宝安区新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列式加热 管组 探针 升降系统 加热腔 可控硅 本实用新型 短加热管 控温装置 控制系统 退火处理 加热管 温度变化控制 加热腔侧壁 功率协调 阵列布局 放入口 良品率 温度场 热源 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于探针退火处理的精准控温装置，其特征在于，包括加热腔、阵列式加热管组、控制系统和升降系统，所述阵列式加热管组和所述升降系统设置在所述加热腔内，并且所述阵列式加热管组位于所述升降系统正上方；所述阵列式加热管组由若干根长加热管和若干根短加热管组成；所述控制系统包括彼此相连的PLC控制器和可控硅，所述可控硅分别与所述阵列式加热管组的长加热管和短加热管连接；所述加热腔侧壁上还设有探针放入口。
2.根据权利要求1所述的一种用于探针退火处理的精准控温装置，其特征在于，所述阵列式加热管组由4根长加热管和8根短加热管组成，其中所述4根长加热管呈口字形非封闭式布置，所述8根短加热管两两呈L形布置在所述口字形的4个角旁。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于探针退火处理的精准控温装置，其特征在于，所述阵列式加热管组的四周设有反射罩。
4.根据权利要求1所述的一种用于探针退火处理的精准控温装置，其特征在于，所述加热腔内还设有多个温度探测器，所述温度探测器与所述PLC控制器连接。
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