[实用新型]一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台有效
| 申请号： | 201821603731.5 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN209182398U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;郝大维;张志富;王克旭;吴磊;王彦君;孙晨光;孙健 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅棒 单晶硅棒 支撑底座 电阻率 探头 探针 万向滚珠 测试台 承接座 上端面 四探针测试仪 本实用新型 电阻率测试 表面安装 横向设置 便捷性 电连接 上移动 表皮 滚珠 竖直 测试 | ||
1.一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，包括支撑底座(1)，其特征在于：所述支撑底座(1)的上端面设有硅棒承接座(2)，所述硅棒承接座(2)的上端面设有沿横向设置的V型通槽(3)，所述V型通槽(3)的表面安装有多个万向滚珠(4)，所述万向滚珠(4)的滚珠顶点突出于所述V型通槽(3)的表面；所述支撑底座(1)上安装有可在横向上及竖直方向上移动的四探针探头(5)，所述四探针探头(5)与四探针测试仪本体电连接，所述四探针探头(5)位于所述V型通槽(3)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，其特征在于：所述万向滚珠(4)沿横向设有两排，两排万向滚珠(4)分别对称的安装于所述V型通槽(3)的两个内表面。
3.根据权利要求1或2所述的一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，其特征在于：所述支撑底座(1)上安装有沿横向设置的滑动轨道(6)，所述滑动轨道(6)上安装有可在所述滑动轨道(6)上滑动的探头支撑架(7)，所述四探针探头(5)安装于所述探头支撑架(7)上。
4.根据权利要求3所述的一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，其特征在于：所述支撑底座(1)上安装有沿横向设置的齿条，所述探头支撑架(7)上安装有横向驱动电机，所述横向驱动电机的输出轴上安装有与所述齿条相咬合的齿轮。
5.根据权利要求4所述的一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，其特征在于：所述探头支撑架(7)为伸缩杆结构，所述四探针探头(5)可随所述探头支撑架(7)的伸缩在竖直方向上移动。
6.根据权利要求4所述的一种区熔单晶硅棒的电阻率测试台，其特征在于：所述探头支撑架(7)上安装有驱动所述四探针探头竖直方向上移动的驱动机构，所述四探针探头(5)上安装有红外测距装置。
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