[实用新型]一种氮化硅制品生产用反应槽

说明书

本实用新型公开了一种氮化硅制品生产用反应槽，包括壳体、壳盖、排气管、支撑台、储氮箱、气泵、进气管、控制面板、电热丝、支撑板、电机、主动轴和扇叶片，所述支撑台顶部嵌入固定有壳体，所述壳体底部连通有进气管，所述壳体顶部通过法兰连接有壳盖，所述壳盖顶部连通有进粉管和排气管，所述支撑台顶部一侧固定连接有硅粉箱，所述支撑台顶部位于硅粉箱一侧固定连接有抽风机，所述抽风机的输入端通过管道与硅粉箱相连通，所述抽风机的输出端通过管道与进粉管相连通，所述支撑台底部设有储氮箱，所述储氮箱顶部通过管道穿过支撑台与排气管相连通，该反应槽可以增加硅粉与氮气的接触面积，减少反应时间，便于氮气循环利用。

技术领域

本实用新型涉及氮化硅生产设备技术领域，具体为一种氮化硅制品生产用反应槽。

背景技术

反应槽的广义理解即有物理或化学反应的不锈钢容器，根据不同的工艺条件需求进行容器的结构设与参数配置，设计条件、过程、检验及制造、验收需依据相关技术标准，以实现工艺要求的加热、蒸发、冷却及低高速的混配反应功能。随之反应过程中的压力要求对容器的设计要求也不尽相同。生产必须严格按照相应的标准加工、检测并试运行，根据专利公开号：CN202358918U所提供的一种氮化硅反应槽，该反应槽具有耐高温，不容易变形，使用寿命长等特点，但结构过于简单，反应时对反应物不能搅拌，反射速度慢，不方便生产氮化硅，为此，我们提出一种氮化硅制品生产用反应槽。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化硅制品生产用反应槽，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种氮化硅制品生产用反应槽，包括壳体、壳盖、排气管、支撑台、储氮箱、气泵、进气管、控制面板、电热丝、支撑板、电机、主动轴和扇叶片，所述支撑台顶部嵌入固定有壳体，所述壳体底部连通有进气管，所述壳体顶部通过法兰连接有壳盖，所述壳盖顶部连通有进粉管和排气管，所述支撑台顶部一侧固定连接有硅粉箱，所述支撑台顶部位于硅粉箱一侧固定连接有抽风机，所述抽风机的输入端通过管道与硅粉箱相连通，所述抽风机的输出端通过管道与进粉管相连通，所述支撑台底部设有储氮箱，所述储氮箱顶部通过管道穿过支撑台与排气管相连通，所述储氮箱一侧设有气泵，所述气泵的输入端通过管道与储氮箱相连通，所述气泵输出端通过管道与进气管相连通，所述壳体内设有主动轴，所述主动轴一端通过轴承与壳体内壁转动连接，所述主动轴外壁等距等角度固定连接有扇叶片，所述壳体外壁固定连接有支撑板，所述支撑板顶部固定连接有电机，所述电机输出轴穿过壳体通过联轴器与主动轴固定连接，所述壳体内部安装有电热丝，所述壳体一侧外壁固定连接有控制面板， 所述控制面板分别与气泵、抽风机、电机和电热丝电性连接。

优选的，所述壳体顶部等距等角度开设有螺纹孔，所述壳盖顶部等距等角度设有螺栓，所述壳盖通过螺栓与壳体的螺纹孔啮合连接。

优选的，所述壳体一侧开设有取料口，所述取料口外侧等距等角度开设有螺纹孔，所述取料口一侧设有阀门，所述阀门远离取料口的一侧等距等角度设有螺栓，所述阀门通过螺栓与取料口的螺纹孔啮合连接。

优选的，所述阀门远离取料口的一侧中心处固定连接有把手。

优选的，所述扇叶片外侧等距等角度开设有圆形孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过控制面板启动电热丝对壳体进行加热，确保达到便于反应的温度，其次启动抽风机，使硅粉箱内的硅粉通过进粉管抽入壳体内，再启动气泵使储氮箱内的氮气从进气管进入壳体内与硅粉接触反应生成氮化硅，电机启动时可以让主动轴转动，带动扇叶片转动，使硅粉被搅拌，方便硅粉与氮气充分反应，增加硅粉与氮气的接触面积，减少反应时间，未反应完的氮气从排气管进入储氮箱内，便于再次使用，循环利用，节约资源。

2、本实用新型通过主动轴持续转动时，可以使反应制得的块状氮化硅沿着扇叶片移动带取料口出，方便收集拿取，而未反应的硅粉会在搅拌的过程中从圆形孔落下，便于继续反应。