[实用新型]一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机

说明书

本实用新型公开了一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，包括底架、设置在底架上的两条导轨、活动安装在主导轨上的磨削工件，所述磨削工件包括底座、头座、尾座和用于控制头座和尾座之间距离的调距结构，所述调距结构包括设置电机和连接在电机的输出轴上且与导轨相平行的螺杆，所述头座固定在滑块上，所述滑块底部设置有导轨相匹配的卡合结构，所述滑块内设置有腔体,且所述螺杆穿过腔体，所述腔体内设置有螺帽和弹簧，所述螺帽套接在螺杆上且弹簧套在螺杆上。其距离调节精度高。

技术领域

本实用新型单晶硅棒生产设备领域，具体涉及一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机。

背景技术

滚圆机是一种广泛应用的冷加工成型设备。根据三点成圆的原理，利用工件相对位置变化和旋转运动使工件产生连续的塑性变形，以获得预定形状的工件，其广泛应用于锅炉、造船、石油、木工、金属结构及其它机械制造行业。

单晶硅棒在制作过程中也会利用滚圆机对其外圆进行滚磨。现有的单晶硅棒滚磨采用如申请号为201611050275.1的“一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备”的结构，包括底架、设置在底架上的两条主导轨、活动安装在主导轨上的磨削工件，其磨削工件包括底座、头座、尾座，头座在夹紧气缸的驱动下实现向尾座的靠拢和远离。但是，采用气缸驱动，其控制精度低。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述技术问题提供一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机，包括底架、设置在底架上的两条导轨、活动安装在主导轨上的磨削工件，所述磨削工件包括底座、头座、尾座和用于控制头座和尾座之间距离的调距结构，所述调距结构包括设置电机和连接在电机的输出轴上且与导轨相平行的螺杆，所述头座固定在滑块上，所述滑块底部设置有导轨相匹配的卡合结构，所述滑块内设置有腔体,且所述螺杆穿过腔体，所述腔体内设置有螺帽和弹簧，所述螺帽套接在螺杆上且弹簧套在螺杆上。本方案在下游技术的基础上做了改进，即采用螺杆调距替代现有的气缸调距。螺杆调距利用螺杆转动实现头座、尾座距离的调节，螺杆转动一圈，可实现3.14*2*R的距离的调节，通过调整螺纹的密度和螺杆的半径长度即可实现精度的调节，相比与气缸驱动，其精度更高。由于采用螺纹驱动头座，螺纹与螺纹之间存在一定的间隙，单晶硅棒外圆的打磨关系到加工品质，该间隙的存在将影响滚磨的品质，本方案在滑块内设置腔体，弹簧套在螺杆上且置于螺帽与头座腔体内壁之间，利用弹簧对头座的推力，去除该间隙，提高控制精度。

作为优选，为了便于头座移动的平稳性，所述导轨为设置在底架侧面的凹槽条，所述滑块上设置有与凹槽条相匹配的凸块，所述凸块上设置有凹槽，所述凹槽内填充有弹珠。利用导轨实现滑块移动限位，凸块与凹槽条的槽壁之间接触面大，摩擦力大，本方案在凸块上设置凹槽，利用弹珠的滚动减小摩擦力，提高头座移动的稳定性。

作为优选，为了提高晶棒磨削前的测量基准的准确性，所述头座上对称安装有对刀传感器组件和基准块。

作为优选，为了避免头座过度移动导致头座、尾座的磨削件的碰撞，所述导轨两端均设置有限位结构。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

1、本实用新型采用螺杆调距替代现有的气缸调距，通过调整螺纹的密度和螺杆的半径长度即可实现精度的调节，相比与气缸驱动，其精度更高。

2、本实用新型在滑块内设置腔体，弹簧套在螺杆上且置于螺帽与头座腔体内壁之间，利用弹簧对头座的推力，去除该间隙，控制精度高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。

图1为本实用新型的结构示意图。