[实用新型]一种电流检测电路及多晶硅还原炉

说明书

本实用新型公开了一种电流检测电路及多晶硅还原炉，其包括第一电源开关、第二电源开关、开关组、电流检测器件和检测电阻；第一电源开关控制第一电源为还原炉内的电极供电；第二电源开关控制第二电源为还原炉内的电极供电；检测电阻的一端分别通第一电源开关和第二电源开关与第一电源和第二电源连接，其另一端与还原炉体连接，电流检测器件检测通过该检测电阻的电流；开关组中的每个开关分别连接一个还原炉内的电极，以单独地控制第一电源为相应的电极供电。因此，本实用新型通过电流检测器件检测到的电流，区分还原炉内的电极处于硅粉沉积状态与硅棒与还原炉内壁接触状态，从而避免出现由硅粉沉积而引起误报停机的情况，保证多晶硅的产量和质量。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种适用于利用改良西门子法生产的多晶硅还原炉的电流检测电路。

背景技术

在光伏、电子、微电子产业中，多晶硅是其主要原材料。多晶硅是以硅为原料，经一系列的物理、化学反应提纯的高纯硅。由于改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产，以其技术成熟、适合产业化生产等特点，是目前多晶硅生产普遍采用的生产工艺，该生产工艺主要采用晶闸管叠层移相调压大功率电源加热到1100℃恒温。一旦出现非正常停机，将对多晶硅的产量、质量以及设备本体造成严重的影响，而接地故障是还原炉出现非正常停机的主要原因。

接地故障主要是由硅棒与还原炉内壁接触发生接地短路，或随着还原炉内反应的进行，还原炉底盘电极处的绝缘片上结硅及粉尘造成接地短路。目前，还原炉的接地故障检测方式是通过检测接地电流是否超限，一旦接地电流超限，便立即采取停机措施。但实际生产过程中，普遍存在还原炉底盘电极处有硅粉沉积的情况，容易出现接地电流超限，不过由于硅粉沉积的等效电阻和硅棒负载电阻相比大太多，由硅粉沉积而产生的接地电流对还原炉设备基本不会产生损害，不必立即采取停机措施。因此，现有的接地故障检测方式经常出现由硅粉沉积而引起误报停机的情况，严重影响了多晶硅的产量和质量，给多晶硅生产企业带来极大的经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种用于多晶硅还原炉的电流检测电路，能够检测还原炉的绝缘情况，能够避免出现由硅粉沉积而引起误报停机的情况，保证多晶硅的产量和质量。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供了以下技术方案：

一种电流检测电路，其包括第一电源开关、第二电源开关、开关组、电流检测器件和检测电阻；其中，所述第一电源开关用于控制第一电源为还原炉内的电极供电；所述第二电源开关用于控制第二电源为还原炉内的电极供电；所述检测电阻的一端分别通过所述第一电源开关和所述第二电源开关与第一电源和第二电源连接，其另一端与还原炉体连接；所述开关组中的每个开关分别连接一个还原炉内的电极，用于单独地控制第一电源为相应的电极供电；而且，所述电流检测器件用于检测所述检测电阻所在线路上通过的电流；通过所述电流检测器件检测到的电流，来判断还原炉内相应的电极与还原炉体之间的绝缘状态，以及判断还原炉内的电极处于硅粉沉积状态还是硅棒与还原炉内壁接触状态。

根据一种具体的实施方式，本实用新型的电流检测电路还包括用于控制所述第一电源开关、所述第二电源开关和所述开关组的开关状态的控制模块。

进一步地，所述控制模块与所述电流检测器件连接。

进一步地，所述控制模块根据所述电流检测器件检测到的电流，计算出绝缘电阻，再根据该绝缘电阻的大小，确定还原炉内相应的电极与还原炉体之间的绝缘状态。

进一步地，所述控制模块通过计算所述电流监测器件检测的之前的电流信号与当前电流信号之间的变化幅度，确定还原炉内的电极处于硅粉沉积状态还是硅棒与还原炉内壁接触状态。

本实用新型还提供一种多晶硅还原炉，其包括第一电源、第二电源以及本本实用新型所述的电流检测电路。

进一步地，所述第一电源的输出特性呈高电压小电流，所述第二电源的输出特性呈低电压大电流。