[实用新型]一种抛光液管路机构及抛光机

权利要求书

1.一种抛光液管路机构，其特征在于，包括上方的接液盘、下方的抛光盘和多条输液管，所述接液盘和抛光盘之间通过所述多条输液管连通，所述多条输液管的出液口均匀地开设在所述抛光盘的研磨面上。

2.根据权利要求1所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述多条输液管的出液口在所述抛光盘上绕所述抛光盘的圆心呈等角偏置分布。

3.根据权利要求1或2所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述多条输液管包括多条第一输液管和多条第二输液管，所述多条第一输液管的第一出液口均位于所述抛光盘的第一圆周上，所述多条第二输液管的第二出液口均位于所述抛光盘的第二圆周上，且所述第一圆周和第二圆周均与所述抛光盘共圆心。

4.根据权利要求3所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述第一圆周的半径大于所述第二圆周的半径，所述第一圆周上具有的第一出液口的数量多于所述第二圆周上具有的第二出液口的数量。

5.根据权利要求4所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述第一圆周上具有的第一出液口的数量是所述第二圆周上具有的第二出液口的数量的两倍。

6.根据权利要求3所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述抛光盘等分为多个扇形区域，不同扇形区域内具有的第一出液口的数量均相等，以及具有的第二出液口的数量均相等。

7.根据权利要求3所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述第一圆周上的多个第一出液口均分为多个第一出液口组，所述第二圆周上的多个第二出液口均分为多个第二出液口组，多个第一出液口组和多个第二出液口组之间交替分布。

8.根据权利要求1所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述抛光盘等分为多个扇形区域，所述多条输液管的出液口在每个扇形区域上分布的数量相等。

9.根据权利要求1所述的抛光液管路机构，其特征在于，所述接液盘包括中心接液槽和环形供液槽，所述中心接液槽和环形供液槽之间相连通；所述多条输液管的进液口均开设在所述环形供液槽上。

10.一种抛光机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一所述的抛光液管路机构。