[实用新型]一种智能气体压力传感器有效
申请号: | 201821616030.5 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN209014192U | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 方果;杨格;王海峰;毛伯付;高仁杰;尹定红 | 申请(专利权)人: | 深圳电通纬创微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01L19/02 | 分类号: | G01L19/02;G01L27/00 |
代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 吴雅丽 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 三通阀 压力检测 气体压力传感器 气路 电路板 传感器膜片 通气气路 第一端 本实用新型 进气 连通 零点漂移 零点误差 自动校零 智能 电连接 | ||
1.一种智能气体压力传感器,包括电路板、传感器膜片、压力检测气路和通气气路,所述传感器膜片设置在电路板上,所述通气气路和压力检测气路分别作用于传感器膜片的正背二面,其特征在于,所述压力检测气路上设有三通阀,靠近压力检测气路进气端的为三通阀的第一端,远离压力检测气路进气端的为三通阀的第二端,三通阀的第三端与通气气路连接,所述三通阀与电路板电连接,具有二个工作状态,一是关闭第一端,并使第二端与第三端连通,二是关闭第三端,并使第一端与第二端连通。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于,所述三通阀为电磁三通阀、电动三通阀、微型继电器三通阀或微动开关三通阀。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述气体压力传感器包括上盖和下盖,所述电路板横向设置在上盖和下盖之间,所述上盖内设有隔板,把电路板和上盖之间的空间分隔成第一气室和第二气室,第一气室上设有第一气嘴,第二气室上设有第二气嘴,所述下盖内设有第一气路、第二气路和第三气室,所述电路板上设有第一通气孔、第二通气孔和第三通气孔,所述第一气室通过第一通气孔与第一气路连通,所述第二气室通过第二通气孔与第二气路连通,所述第一气室通过第三通气孔与第三气室连通,所述传感器膜片设置在第三通气孔处,所述下盖上设有第四通气孔和第五通气孔,所述第一气路通过第四通气孔与第三气室连通,所述第二气路通过第五通气孔与第三气室连通,所述三通阀为电磁三通阀,包括电磁线圈和密封活塞,所述电路板通过电磁线圈来控制密封活塞移动,并使密封活塞封闭第四通气孔或第五通气孔,所述第一气嘴、第一气室、第一通气孔、第一气路和第四通气孔形成通气气路,所述第二气嘴、第二气室、第二通气孔、第二气路、第五通气孔和第三气室形成压力检测气路。
4.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于,所述第一气嘴用于与大气连通,第二气嘴用于与要检测的气路连通。
5.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于,所述电路板上设有单片机和三通阀驱动电路,所述单片机与三通阀驱动电路以及传感器膜片上的电路均电连接。
6.根据权利要求5所述的压力传感器,其特征在于,所述电路板上还设有重置电路,所述重置电路与单片机的RESET 引脚电连接。
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