[实用新型]一种减振装置

说明书

本实用新型提供的减振装置通过在所述基板和所述顶板之间设置垂直减振组件和水平减振组件来实现被减振装置的垂直方向和水平方向的振动衰减；其中，所述垂直减振组件用于实现被减振设备垂直方向的振动衰减，包括第一主动减振机构和第一被动减振机构；所述水平减振组件用于实现被减振设备的水平方向的振动衰减，包括第二主动减振机构和第二被动减振机构；所以通过在垂直方向和水平方向都设置有主动减振机构和被动减振机构和控制器，既可双向隔离高频振动，亦可双向的有效抑制低频振动。进一步的，所述控制器控制所述第一主动减振机构和第二主动减振机构进行主动减振，增强了解决实际振动问题的实用性和有效性。

技术领域

本实用新型涉及减振设备领域，更具体地，涉及一种减振装置。

背景技术

随着大规模集成电路制造业的发展，以光刻机为代表的纳米加工设备集成了光、机、电等多个学科的尖端技术，代表了先进制造技术的最高成就。由于以光刻机为代表的纳米加工设备涉及到纳米曝光、定位与测量，其对振动、温度、湿度和颗粒等环境控制的要求极其严格，减振技术就是其中的关键技术之一。

早期的光刻机及精密加工设备采用的是被动减振系统，减振组件包括金属弹簧、橡胶和空气弹簧，有时会附加一些阻尼结构。这些减振元件结构简单，易于实现，缺点是一旦设计完成，其参数很难更改，因而只能对某一特定的窄频段振动起到衰减作用，而对于隔振对象状态变化较大和振动干扰时变性较强的场合不太适合；同时，由于稳定性的限制，被动隔振也无法对低频振动进行衰减。随着高端光刻机及纳米加工设备的出现，其工作环境更加复杂，被动减振系统对设备的低频振动隔离和位置稳定性控制已经无能为力，设备内部的干扰力也无法削弱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种减振装置，对被减振设备在水平方向和垂直方向同时实现主动减振和被动减振的目的。

本实用新型提供了一种减振装置，包括：基板、顶板、垂直减振组件、水平减振组件和控制器；所述垂直减振组件与所述顶板和所述基板连接；所述水平减振组件与所述顶板和所述基板连接；其中，所述垂直减振组件能够衰减设置在所述顶板上的被减振设备垂直方向的振动，包括第一主动减振机构和第一被动减振机构；所述水平减振组件能够衰减所述被减振设备的水平方向的振动，包括第二主动减振机构和第二被动减振机构；所述控制器设置在所述基板上；所述控制器与所述第一主动减振机构和第二主动减振机构连接，以控制所述第一主动减振机构和第二主动减振机构进行主动减振。

可选的，在所述减振装置中，所述减振装置还包括第一加速度传感器和第二加速度传感器；所述第一加速度传感器能够测量被减振设备的垂直方向的振动信号，所述第一加速度传感器与所述控制器连接，以将所述垂直方向上的第一振动信号发送给所述控制器，所述控制器根据所述第一振动信号控制所述第一主动减振机构工作；所述第二加速度传感器能够测量被减振设备的水平方向的第二振动信号，所述第二加速度传感器与所述控制器连接，以将所述第二振动信号发送给所述控制器，所述控制器根据所述第二振动信号控制所述第二主动减振机构工作。

可选的，在所述减振装置中，所述第一被动减振机构为第一橡胶减振组件，与所述基板和顶板垂直连接；所述第二被动减振机构为第二橡胶减振组件，与所述基板和顶板水平连接。

可选的，在所述减振装置中，所述第一橡胶减振组件包括第一橡胶块和螺母；所述第一橡胶块一面与所述顶板连接，所述第一橡胶块背离与所述顶板连接的另一面通过所述螺母与所述基板连接；所述第二橡胶减振组件包括第二橡胶块和固定块，所述固定块将所述第二橡胶块固定在所述顶板和所述基板上。

可选的，在所述减振装置中，所述减振装置还包括第一位移传感器和第二位移传感器，所述第一位移传感器能够感应所述顶板和所述基板的竖直方向的相对位移；所述第二位移传感器能够感应所述顶板和所述基板的水平方向的相对位移，所述螺母调整所述顶板和所述基板的竖直方向的相对位移。

可选的，在所述减振装置中，所述第一主动减振机构和第二主动减振机构均为直线型驱动电机。