[实用新型]原子层沉积设备用气体过滤装置

说明书

本实用新型公开了一种原子层沉积设备用气体过滤装置，包括炉体，所述炉体的下端外表面固定安装有底板，且底板的下端活动安装有滚轮，所述炉体的后端外表面固定安装有进气管，且炉体的一侧外表面固定安装有进水管，所述炉体的内部靠近下端的位置固定安装有滤网，且炉体的内部靠近上端的位置固定安装有托盘，所述炉体的上端外表面固定安装有顶板。本实用新型通过设置有一系列的结构使本装置在使用过程中具备较好的过滤性，在气体处理的过程中三甲基铝的用量较少，在气体处理的过程中，过滤桶能够去除掉气体中的杂质，反应生成的杂质较少能够避免堵塞的情况，气体的过滤效果也较好，便于使用者的使用。

技术领域

本实用新型涉及原子层沉积领域，尤其涉及一种原子层沉积设备用气体过滤装置。

背景技术

气体过滤装置是一种通过化学反应或者物理吸附达到过滤效果的装置，可实现将生产带来的废气进行处理再进行排放的过程，但是现有的气体过滤装置结构简单，且都不具备较好的过滤性，在气体处理的过程中三甲基铝的用量较多，从而反应生成的杂质较多，在这种情况下容易造成堵塞的情况，同时气体的过滤效果也不够好，不便于使用者的使用。

实用新型内容

本实用新型实施方式提供的一种原子层沉积设备用气体过滤装置，包括炉体，所述炉体的下端外表面固定安装有底板，且底板的下端活动安装有滚轮，所述炉体的后端外表面固定安装有进气管，且炉体的一侧外表面固定安装有进水管，所述炉体的内部靠近下端的位置固定安装有滤网，且炉体的内部靠近上端的位置固定安装有托盘，所述炉体的上端外表面固定安装有顶板，且顶板的上端外表面固定安装有出气管，所述炉体的另一侧设置有过滤桶，且过滤桶与炉体之间设置有阀门，所述炉体的外表面的中间位置固定安装有固定块。

通过采用上述技术方案，在这个过程中三甲基铝的用量较少，在气体处理的过程中，过滤桶能够去除掉气体中的杂质，反应生成的杂质较少能够避免堵塞的情况，气体的过滤效果也较好，便于使用者的使用。

在某些实施方式中，所述滤网的下端固定安装有加热丝，且加热丝的外表面固定安装有连接块。

通过采用上述技术方案，通过加热丝能够将三甲基铝与水蒸气进行反应处理，可加快反应的速度。

在某些实施方式中，所述加热丝的上端外表面固定安装有导管，导管呈均匀平行放置。

通过采用上述技术方案，通过导管能够将排进炉体内部的水均匀的分布在加热丝的表面上，便于反应的充分。

在某些实施方式中，相邻两个所述托盘之间固定安装有气缸，且气缸的上端外表面开设有小孔。

通过采用上述技术方案，通过气缸能够使托盘产生位移，在对气体进行过滤时，能够减少部件之间的摩擦。

在某些实施方式中，所述滤网呈毛刺形，且滤网的内部设置有框架。

通过采用上述技术方案，滤网呈毛刺结构，能够使其充分与气体进行接触，可以更好的对气体进行过滤。

在某些实施方式中，所述炉体的一侧外表面设置有电源接口，且炉体的内部靠近滤网的位置设置有泵，电源接口的输出端电性连接泵的输入端。

通过采用上述技术方案，通过电源接口给装置提供电能，在对气体进行过滤的过程中泵一直处于抽真空状态。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：