[实用新型]一种高精度稀释配气仪

说明书

本实用新型涉及一高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置；液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM，蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置。本实用新型可以实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性，保证配气仪的标定精度。

技术领域

本实用新型涉及一种高精度稀释配气仪，还包括一种配套设计的汽化混合装置，适用于实验室分析仪表及现场分析仪表的标准气的稀释配气。

背景技术

环境监测及工业过程分析需要大量的气体分析仪表及分析系统。气体分析仪表及系统的标定大多采用标准气，分析仪表及系统的标定需要一系列标气用于线性化检测，，采用高精度稀释配气仪可以直接用量程标气与零点气配比，实现高精度的线性化配气要求，替代线性化监检测需要的各种标气，从而满足分析仪表的线性化标定检测。高精度稀释配气仪是分析仪表常用的标准配置设备。

高精度稀释配气仪是用于标定分析仪表的线性化的精密配气设备，根据比例稀释的原理，将已知浓度标准物质按照体积成比例稀释成所需浓度标准样气，用于产生各种浓度的标准气，广泛应用于化学分析实验室、仪表研发与制造实验室、电厂、化工厂等现场分析监测领域。

加湿汽化混合装置是高精度稀释配气仪的重要组成部分，按照配气的湿度要求加湿，并与稀释气体混合，气液混合越均匀，稀释配气仪配置的标气对分析仪表标定越准确，因此，加湿及汽化混合的性能直接影响稀释配气仪的精度。

如何实现配比气的高精度及加湿气化混合的均匀性，以保证配气仪的标定精度，成为本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型目的是为了提供一种高精度稀释配气仪，用以实现标准气配置中高精度的问题。

本实用新型是这样实现的：高精度稀释配气仪，包括气体流路和液体流路，其特征在于所述气体流路和液体流路与高温汽化混合装置连接；所述气体流路包括稀释气口、配比气口和与其相对应的两个气体质量流量控制器MFC，稀释气与配比气分别通过两个气体质量流量控制器MFC经汇流后，通过标准气口进入高温汽化混合装置；所述液体流路包含液体入口、蠕动泵和与其对应的液体质量流量计MFM，蠕动泵抽取液体经液体质量流量计MFM后进入高温汽化混合装置；所述高温汽化混合装置包括设有出口的耐高温壳体，耐高温壳体内有混合腔，混合腔的上部设有PEEK喷头，液体由喷头上端进入，高压气体由喷头侧面进入，高压气体与液体碰撞产生雾化，再经喷头进入高温混合腔进行充分混合。

一般地，所述气体流路的管路及高温汽化装置的混合腔内壁均采用经钝化处理的不锈钢材质。

所述液体流路的管路采用PEEK毛细管，毛细管的内径1mm。

所述气体质量流量控制器MFC为热式质量流量控制器，准确度为±0.1%F.S.。

所述液体质量流量计MFM采用科里奥利式流量计，准确度为±0.2%F.S.。

所述高温汽化混合装置设有加热与控温装置。

所述的高精度稀释配气仪，还包括设定单元与微处理单元，设定单元用于设定配置参数及开关机，配制参数包括稀释比例、气体种类及流量，设定单元联接微处理单元，微处理单元与两个气体质量流量控制器MFC、液体质量流量计MFM、蠕动泵以及高温汽化混合装置的控温装置联接。

所述设定单元还包括可触控显示屏。