[实用新型]双视场干涉仪

说明书

本实用新型提出一种双视场干涉仪，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。根据本实用新型的双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

技术领域

本实用新型涉及一种双视场干涉仪。

背景技术

采用手机摄像孔检测仪检测摄像孔区域的平行度时，需要首先将透射标准镜与反射标准镜严格调平行。采用的方法是不放置待测样品，将透射标准镜与反射标准镜形成的干涉条纹调节至零场。

实用新型内容

本实用新型的发明人首先认识到，由于仪器的检测口径是5mm，视场太小。当在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，透射标准镜与反射标准镜并没有严格平行。这是因为，如果将视场放大，则会看到在原先5mm视场内的存在多条干涉条纹。例如，在5mm视场内干涉条纹数目小于1条时，当在30mm视场内时，实际存在5条干涉条纹。这表示透射标准镜与反射标准镜的平行度并没有严格调试好。

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

根据本实用新型的一种双视场干涉仪，包括：

激光点光源；

分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；

分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；

准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；

反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；

测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；

辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。

有利地，所述激光点光源输出的激光球面波，经所述分光棱镜、所述分光镜、所述准直镜后输出，经透射与所述反射标准镜反射后，返回的光路分为两路，一路是30mm的全视场光束，由所述辅助对准相机接收，形成全视场的干涉条纹；一路是5m的小视场光束，由所述测试相机接收。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的双视场干涉仪的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图来详细描述根据本实用新型的双视场干涉仪。

如图1所示，根据本实用新型的一种双视场干涉仪，包括：激光点光源1，分光棱镜2，分光镜3，准直镜4，反射标准镜5，测试相机6，辅助对准相机7。

具体地说，分光棱镜2设在激光点光源1的下面。

分光镜3设在分光棱镜2的下面。

准直镜4设在分光镜3的右面。