[实用新型]一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器

说明书

本实用新型公开了一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器，所述加热器包括加热薄膜和加热平板，所述加热薄膜为由负电阻温度系数材料制成的若干分布均匀的电阻串联而成，所述加热薄膜粘合在加热平板上，所述加热薄膜两端连接用于输入恒电流的电源。本实用新型的平板加热器采用负电阻温度系数材料制备的加热薄膜实现温度自调节，可实现提高加热器的温度均匀性。

技术领域

本实用新型涉及一种平板加热器，特别涉及一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器。

背景技术

现有平板加热器的加热方式为在平板底部布置加热电阻丝，在通入加热电阻丝上加载电流，从而产生焦耳热，使平板温度上升到所需温度。由于平板下电阻丝分布不均匀以及平板与空气热交换的差异，平板上的温度不均匀性。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器，采用负电阻温度系数材料制备的加热薄膜实现温度自调节，可实现提高加热器的温度均匀性。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现。

一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器，其特征在于，包括加热薄膜和加热平板，所述加热薄膜为由负电阻温度系数材料制成的若干均匀分布的电阻块串联而成，所述加热薄膜粘合在加热平板上，所述加热薄膜两端连接用于输入恒电流的电源。

进一步地，横向及纵向相邻电阻块间整齐排列。

进一步地，所述加热薄膜的通过磁控溅射粘合在加热平板上。

进一步地，所述加热薄膜为氮氧化锆薄膜。

加热器工作方法是加热器加热时，加热薄膜电阻将产生焦耳热使平板升温，当平板上温度不均匀时，由于加热薄膜为负电阻温度系数材料，温度较高的区域薄膜电阻减小，而电流恒定，其加热功率减小，从而使该温度偏高区域的温度下降，实现自调节；同理，当某区域温度偏低时，加热薄膜电阻值升高，加热功率增大，从而使温度偏低的区域温度上升，最终使平板上的温度均匀性提高。所述加热器采用MEMS工艺进行制备。

本实用新型的有益效果：通过本实用新型制备出的加热器可实现自动调节温度，加热均匀。

附图说明

图1是本实用新型的加热器结构示意图；

图2是本实用新型的加热器电流输入示意图；

图中：1. 加热薄膜，2. 加热平板。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。参见图1，一种使用负电阻温度系数电阻的温度自调节平板加热器，包括加热薄膜1和加热平板2。所述加热薄膜1为负电阻温度系数材料，通过磁控溅射工艺粘合在加热平板2上，加热薄膜1的图形为均匀分布的加热薄膜电阻串联而成。

所述技术方案，参见图2，在加热薄膜上加载为恒定电流。其工作方法是加热器加热时，加热薄膜1将产生焦耳热使平板升温，当加热平板2上温度不均匀时，由于加热薄膜1为负电阻温度系数材料，温度较高的区域薄膜电阻减小，而电流恒定，其加热功率减小，从而使该温度偏高区域的温度下降，实现自调节；同理，当某区域温度偏低时，加热薄膜电阻值升高，加热功率增大，从而使温度偏低的区域温度上升，最终使平板上的温度均匀性提高。