[实用新型]用于激光器耦合镜片的保护装置及具有保护装置的激光器

权利要求书

1.一种用于激光器耦合镜片的保护装置，其特征在于，包括：

保护管(10)，固定在激光器前板上，所述保护管(10)具有贯穿所述保护管(10)长度方向的气流通道(12)以及与所述气流通道(12)连通的进风口(11)；

两个轴流风机(20)，分别设置在所述保护管(10)的两端，用于将气流连同溅射物通过所述进风口(11)抽入所述气流通道(12)，进而从所述气流通道(12)的出风口排出；

激光的发射方向与所述保护管(10)的长度方向垂直。

2.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述保护管(10)包括竖直部(13)和延伸部(14)，所述延伸部(14)贯穿所述激光器前板，一端与所述竖直部(13)的一端连接，轴流风机(20)设置在所述延伸部(14)的另一端。

3.根据权利要求2所述的保护装置，其特征在于，所述竖直部(13)和所述延伸部(14)一体成型。

4.根据权利要求2所述的保护装置，其特征在于，所述气流通道(12)具有收缩部(121)以及与所述进风口连通的开口部(122)，所述收缩部(121)的尺寸小于所开口部(122)的尺寸，以加快气流的流速。

5.根据权利要求4所述的保护装置，其特征在于，还包括：通道阀门(30)，设置在所述出风口的前端。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的保护装置，其特征在于，还包括：异物收集杯(40)，设置在所述出风口的后端，用于收集从所述气流通道(12)中排出的所述溅射物。

7.根据权利要求6所述的保护装置，其特征在于，所述异物收集杯(40)包括杯壁(41)、杯底(42)以及由所述杯壁(41)和所述杯底(42)包围而成的直流风道(43)，所述杯壁(41)内设置有螺旋风道(44)，所述螺旋风道(44)的一端与所述气流通道(12)的出风口连通，另一端通过连通孔(45)与所述直流风道(43)连通。

8.根据权利要求7所述的保护装置，其特征在于，所述杯壁(41)包括外杯壁(411)和内杯壁(412)，所述螺旋风道(44)设置在所述外杯壁(411)和所述内杯壁(412)之间，横截面为半圆结构，开口朝向所述外杯壁(411)。

9.根据权利要求8所述的保护装置，其特征在于，所述螺旋风道(44)和所述外杯壁(411)之间设置有吸附层(46)。

10.一种具有保护装置的激光器，其特征在于，包括：

激光器本体；以及

权利要求1至9中任意一项所述的保护装置。