[实用新型]一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘

说明书

本实用新型公开了一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘，包括冷阱法兰、冷却水接头、冷却水路盘管、冷却水路盘管接头、冷却水接入口、冷阱挡油面、冷阱叶片以及冷阱水路，冷阱法兰顶端固定连接设置有冷却水接头、冷阱法兰内部固定连接设置有冷阱挡油面，冷阱挡油面表面安装设置有冷阱叶片，冷阱叶片旁边固定安装设置有冷阱水路，冷阱挡油面面上固定安装设置有冷却水路盘管，冷却水路盘管两端均连接设置有冷却水接入口，冷却水接入口一端固定安装设置有冷却水路盘管接头，冷阱法兰四周均安装设置有安装孔。本实用新型结构简单合理，通过在冷却面增加水冷装置，通过水冷装置冷却，保持冷阱与真空室接触位置的持续低温，防止二次污染。

技术领域

本实用新型涉及一种油扩散泵，特别涉及一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘，属于油扩散泵技术领域。

背景技术

油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10^-4～10^-5帕，工作压力范围为10^-1～10^-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10^-3立方米）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。冷阱是一种阻止蒸气或液体从系统进入测量仪器，或从测量仪器进入系统的一种装置。它能提供一个非常低温的表面，在此表面上，分子能够凝聚，并能提高一至二个数量级的真空度。但是，不适当地使用冷阱能减少仪器的准确性，造成仪器或系统的破坏，产生一种物理事故。单层冷阱在针对光学镀膜设备时，使用的扩散泵油在冷阱表面凝结后，因为真空室内有加热，所以扩散泵油仍有挥发至真空室内的情况。因此，我们提出一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服不适当地使用导致仪器的准确性降低，造成仪器或系统的破坏，产生一种物理事故的缺陷，提供一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型提供一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘，包括冷阱法兰、冷却水接头、冷却水路盘管、冷却水路盘管接头、冷却水接入口、冷阱挡油面、冷阱叶片以及冷阱水路，所述冷阱法兰顶端固定连接设置有冷却水接头、所述冷阱法兰内部固定连接设置有冷阱挡油面，所述冷阱挡油面表面安装设置有冷阱叶片，所述冷阱叶片旁边固定安装设置有冷阱水路，所述冷阱挡油面面上固定安装设置有冷却水路盘管，所述冷却水路盘管两端均连接设置有冷却水接入口，所述冷却水接入口一端固定安装设置有冷却水路盘管接头，所述冷阱法兰四周均安装设置有安装孔。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷阱法兰外侧固定安装设置有密封座。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷阱叶片与所述冷阱水路之间通过锡焊相连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却水路盘管为螺旋形结构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却水接入口设置有若干个。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷阱法兰是由碳钢材质制成的。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型结构简单合理，通过在单层冷阱的冷却面增加水冷装置，通过水冷装置的冷却，保持冷阱与真空室接触位置的持续低温，防止二次污染；本实用新型冷却效果好，客户可根据冷却水接入口自由选择冷却水接入方式，具有较好的应用前景。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的内部剖视图；