[实用新型]真空压力传感器

权利要求书

1.一种真空压力传感器，其包括设有通道(1131)的管道(113)、与管道(113)连接且设有收容腔(1121)的固定座(112)以及与固定座(112)相连接且设有插接口(1111)的连接端(111)，所述真空压力传感器还包括置于收容腔(1121)内的压力芯片(15)、将通道(1131)和收容腔(1121)相连通的连通部(114)、设于管道(113)内且设有第一连接孔(11341)和第二连接孔(11343)的止挡部(1134)以及与止挡部(1134)相配合以打开或关闭第一连接孔(11341)和第二连接孔(11343)的阀片(12)，其特征在于，所述管道(113)、固定座(112)和连接端(111)为一体式的。

2.如权利要求1所述的真空压力传感器，其特征在于，所述止挡部(1134)设有呈环形设置且指向阀片(12)的突出部(11342)，所述突出部(11342)与阀片(12)相配合可关闭第一连接孔(11341)和第二连接孔(11343)。

3.如权利要求1所述的真空压力传感器，其特征在于，所述止挡部(1134)与管道(113)为一体式，所述止挡部(1134)置于通道(1131)内，所述止挡部(1134)设有向阀片(12)延伸的固定轴(11344)，所述阀片(12)设有供固定轴(11344)穿过的固定孔(121)。

4.如权利要求3所述的真空压力传感器，其特征在于，其还包括位于阀片(12)一侧且与管道(113)固定到一起的第一连接管(3)。

5.如权利要求4所述的真空压力传感器，其特征在于，所述第一连接管(3)设有定位部(31)，所述定位部(31)设有供固定轴(11344)伸入的定位孔(311)。

6.如权利要求4所述的真空压力传感器，其特征在于，所述第一连接管(3)通过激光焊接的方式固定到管道(113)。

7.如权利要求4所述的真空压力传感器，其特征在于，其还包括位于阀片(12)另一侧且与管道(113)固定到一起的第二连接管(2)。

8.如权利要求1所述的真空压力传感器，其特征在于，所述阀片(12)为圆环形。

9.如权利要求1所述的真空压力传感器，其特征在于，其还包括固定到连接端(111)的端子(14)，所述端子(14)伸入插接口(1111)且与压力芯片(15)信号连接。

10.如权利要求1所述的真空压力传感器，其特征在于，所述收容腔(1121)上方开口设置，所述真空压力传感器还包括固定到固定座(112)上以遮住收容腔(1121)的盖板(13)。