[实用新型]蒸镀装置

说明书

本申请提供一种蒸镀装置。所述蒸镀装置包括坩埚和覆盖所述坩埚的保护层。所述坩埚具有内侧面、外侧面以及沿所述坩埚厚度方向内侧面与外侧面交界处的壁面。所述保护层包括第一保护层、第二保护层和第三保护层。所述第一保护层覆盖所述内侧面，所述第一保护层的厚度为1μm‑150μm，用于防止蒸发物腐蚀所述内侧面。所述第二保护层覆盖所述外侧面，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述外侧面。所述第三保护层覆盖所述壁面，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述壁面。所述坩埚整体覆盖所述保护层能很好地保护所述坩埚，避免被腐蚀性物料腐蚀损坏。

技术领域

本申请涉及蒸镀装置技术领域，特别是涉及一种蒸镀装置。

背景技术

光伏领域经常需要用蒸镀装置向太阳能基板上蒸镀薄膜，而蒸镀装置大多为坩埚。但大多蒸发物料具有腐蚀性，当蒸发物料在坩埚中高温加热时，蒸发物料可能与坩埚本身发生反应。随着时间的推移，可能导致坩埚表面腐蚀损坏。

现有的坩埚中，将坩埚置于富氧环境下，使坩埚氧化生成一层薄膜。但这种氧化层厚度极小，且容易脱落，很难起到保护作用。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有坩埚的极易被腐蚀损坏的问题，提供一种蒸镀装置。

一种蒸镀装置。所述蒸镀装置包括：

坩埚，包围形成具有开口的容纳腔，所述坩埚具有内侧面、外侧面以及沿第一方向内侧面与外侧面交界处的壁面；

第一保护层覆盖所述内侧面，所述第一保护层的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料腐蚀所述内侧面；

第二保护层，覆盖所述外侧面；以及

第三保护层，覆盖所述壁面。

在其中一个实施例中，所述第二保护层的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述外侧面；

所述第三保护层的厚度为0.6μm-150μm，用于防止蒸发物料溢出后腐蚀所述壁面。

在其中一个实施例中，所述第一保护层包括至少一个台阶，所述至少一个台阶沿着第一方向布置，用于防止蒸发物料溢出。

在其中一个实施例中，所述至少一个台阶沿着第二方向的宽度依次增加，所述第一方向和所述第二方向垂直。

在其中一个实施例中，所述第二保护层包括至少一个锯齿，所述至少一个锯齿沿着第一方向布置，所述至少一个锯齿的一个端面与所述外侧面垂直，用于防止所述蒸发物料溢出后，腐蚀整个所述外侧面。

在其中一个实施例中，所述至少一个锯齿沿着第二方向的宽度依次增加，所述第二方向与所述第一方向垂直。

在其中一个实施例中，所述第三保护层包括至少一个凹槽，所述至少一个凹槽用于盛装一部分溢出的蒸发物料。

在其中一个实施例中，还包括：

盖体，与所述坩埚紧密盖合，所述盖体上开设有通孔。

在其中一个实施例中，还包括：

第四保护层，密封所述盖体，所述第四保护层的厚度为0.6μm-150μm，用于防止溢出的蒸发物料腐蚀所述盖体。

在其中一个实施例中，还包括：

引流管，穿过所述通孔，深入到所述容纳腔的内部，用于将蒸发后的蒸发物料导出。