[实用新型]一种在线加热装置

说明书

本实用新型提出一种在线加热装置，包括：壳体、设置在壳体上部连接泵体的进液口、设置在壳体上部连通至药液槽的出液口、连接所述进液口且伸至壳体底部的进液管、设置在壳体内位于出液口下方使流向出液口的药液可被均匀加热的加热器。本实用新型将加热器设置在处于底部药液流向顶盖出口的流经区域，使加热器的设置区域形成流通液体的加热通道，液体从进液管流至壳体底部时先通过围绕管壁设置的加热器预热，至壳体底部后向上从加热器内部流过后完成加热，达到充分均匀加热的效果。

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片加工设备领域，特别涉及一种在线加热装置。

背景技术

在太阳能硅片的槽式清洗设备及半导体清洗设备中，需要将槽内药液升高到工艺反应需要的温度，现有的技术均采用PTFE板式加热器放置在槽体底部，将药液从下方喷至加热器上进行加热，再通过泵循环，而这种喷洒后加热的方式会导致受热的均匀性不好，影响药液的均匀性，延长加热时间。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中存在的技术问题，提出一种在线加热装置。

本实用新型采用的技术方案是：

一种在线加热装置，包括：壳体、设置在壳体上部连接泵体的进液口、设置在壳体上部连通至药液槽的出液口、连接所述进液口且伸至壳体底部的进液管、设置在壳体内位于出液口下方使流向出液口的药液可被均匀加热的加热器。

所述加热器均匀设置在进液管外壁与壳体内壁之间。

所述壳体的顶部通过顶盖密封，所述壳体与顶盖的相对面设有环形槽，所述环形槽内设有密封圈。

所述顶盖下部为一段带外螺纹的管壁，所述壳体的上部设有一圈凸台，通过螺母穿过壳体扣住凸台与顶盖螺纹连接使顶盖与壳体固定。

所述顶盖的内侧固定有出水测温针。

所述顶盖的内侧固定有液位探测器。

所述进液口设置在顶盖的侧面，所述出液口设置在顶盖的顶面。

所述加热器的连接线从顶盖的顶面穿出，所述连接线的穿出位置设有密封接头。

所述壳体底面设有排液口，所述排液口处安装有手动阀门。

所述进液管的下端的管壁上设有防止加热器下滑的限位块。

与现有技术比较，本实用新型的优点在于：

本实用新型将加热器设置在处于底部药液流向顶盖出口的流经区域，使加热器的设置区域形成流通液体的加热通道，液体从进液管流至壳体底部时先通过围绕管壁设置的加热器预热，至壳体底部后向上从加热器内部流过后完成加热，达到充分均匀加热的效果，而且出液口设置在顶部，会自动将气泡排除，进一步提高加热的均匀性，同时防止内部有气体受热导致压力过大而发生爆炸。

附图说明

图1为本实用新型的结构简图；

图2为本实用新型的爆炸图；

图3为本实用新型的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。