[实用新型]一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置

权利要求书

1.一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：包括内框（2）、外框（1）、安装部；所述内框（2）嵌套在外框（1）内部，所述内框（2）的底部设置有支撑部；所述支撑部与外框（1）固定连接；所述内框（2）的顶部设置有固定部；所述固定部与外框（1）可拆卸连接；所述安装部与外框（1）或支撑部固定连接，用于将采样装置安装在采样点处。

2.根据权利要求1所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述支撑部包括支撑板I（3）、支撑板II（4）；所述内框（2）的底部与外框（1）的底部持平；所述支撑板I（3）和支撑板II（4）分别固定设置在外框（1）相对的两端；所述支撑板I（3）固定在外框（1）下部的边上，支撑板I（3）的底部与外框（1）的边持平；所述支撑板I（3）的宽度大于外框（1）的宽度且小于外框（1）的宽度与内框（2）的宽度之和；所述支撑板II（4）固定在外框（1）上部的边上；支撑板II（4）的底部设置在内框（2）的边上，支撑板II（4）的顶部超出外框（1）的宽度。

3.根据权利要求2所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述安装部包括安装孔（5）；所述安装孔（5）设置在支撑板II（4）超出外框（1）宽度的部分上。

4.根据权利要求1所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述支撑部为嵌套在外框（1）内部的支撑框（9）；所述支撑框（9）固定在外框（1）的顶部与底部之间，且支撑框（9）的底部与外框（1）的底部持平；所述内框（2）嵌套在外框（1）内部且放置在支撑框（9）上面；所述支撑框（9）的高度与内框（2）的高度之和等于外框（1）的高度；所述内框（2）的宽度小于等于支撑框（9）的宽度。

5.根据权利要求4所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述支撑框（9）与外框（1）一体成型或者支撑框（9）与外框（1）通过粘接实现固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述支撑部为固定在外框（1）内壁上的凸起（10）；所述凸起（10）沿径向水平设置在外框（1）的内壁上且在外框（1）的顶部与底部之间；所述外框（1）的每条边上设置至少1个凸起（10）；所述凸起（10）的水平长度大于等于内框（2）的宽度。

7.根据权利要求1所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述固定部包括固定角铁（7）；所述固定角铁（7）包括水平部、竖直部；所述竖直部设置在内框（2）的内壁上；所述水平部设置在外框（1）的边上，且水平部上设置有通孔，外框（1）的边上对应设置与通孔大小匹配的连接孔，所述连接孔设置有内螺纹；采用螺杆与蝶形螺母（8）相配合，穿过通孔、连接孔，实现固定部与外框（1）可拆卸连接。

8.根据权利要求1或4-7任一所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述安装部包括刚性连接件，所述连接件的两端分别设置有通孔；所述连接件的一端通过通孔与外框（1）的上部的边固定连接；所述连接件的另一端通过通孔与采样点固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种用于氯化物沉积速率测试的采样装置，其特征在于：所述连接件为角铁或条形钢板。