[实用新型]一种胶体粒子掩膜制备装置

权利要求书

1.一种胶体粒子掩膜制备装置，包括槽体（1）、升降装置（2）、调速装置（3）、溶液加热恒温装置（4）、粒子平整装置（5）和液面监测装置（6），其特征在于：所述的槽体（1）包括固定槽（101）和溶液槽（102）；所述的升降装置（2）包括电机（201）、螺母丝杠（202）、导轨（203）、螺母滑块（204）和移动平台（205）；所述的调速装置（3）包括电机（301）、调速齿轮组（302）、调速箱（303）、输出轴（304）和锁紧螺母（305）；所述的粒子平整装置（5）包括调整螺栓（501）、压辊（502）、支撑架（503）和平整安装架（504）；所述的液面监测装置（6）包括液面监测计（601）和稳液管（602），所述的升降装置（2）中的电机（201）安装在固定槽（101）的底部；所述的调速装置（3）安装在升降装置（2）的移动平台（205）上，且与升降装置（2）共同设置在固定槽（101）的侧壁上；所述的溶液加热恒温装置（4）设置在溶液槽（102）的槽底；所述的粒子平整装置（5）设置在调速装置（3）的调速箱（303）上；所述的液面监测装置（6）设置在溶液槽（102）外壁出液口处。

2.根据权利要求1所述的一种胶体粒子掩膜制备装置，其特征是：所述的粒子平整装置（5）中的工件（7）与压辊（502）之间间隙可通过旋转调整螺栓（501）调节，其间隙大于粒子层数乘以粒子直径、小于粒子层数加一后乘以粒子直径。

3.根据权利要求1所述的一种胶体粒子掩膜制备装置，其特征是：所述的粒子平整装置（5）中的调整螺栓（501）间隙装配在平整安装架（504）顶端中间的圆孔内；支撑架（503）的一端为两侧带有燕尾结构、中间外侧为半圆状内螺纹结构，其燕尾结构装配在平整安装架（504）顶端的燕尾槽中，半圆状内螺纹与装配在圆孔内的调整螺栓（501）螺纹连接配合，旋转调整螺栓（501）时，调整螺栓（501）与平整安装架（504）无相对位移，螺纹带动支撑架上下移动，从而调节粒子平整装置（5）中压辊（502）与工件（7）间间隙。

4.根据权利要求1所述的一种胶体粒子掩膜制备装置，其特征是：所述的槽体（1）、粒子平整装置（5）、调速箱（303）和输出轴（304）采用高强度、耐化学腐蚀的高分子材料，如聚丙烯、聚甲醛。

5.根据权利要求1所述的一种胶体粒子掩膜制备装置，其特征是：所述的液面监测装置（6）中稳液管（602）采用透明耐热材料，如玻璃。