[实用新型]可分离式真空互联系统

说明书

本实用新型公开了一种可分离式真空互联系统，包括：主互联管道；主互联固定装置，设置于主互联管道上；多个可移动的分体装置，包含：移动式高真空生长设备、移动式非高真空生长设备、移动式真空测量设备、真空恒温样品传递小车、以及移动式真空泵车系统，其中，分体装置在主互联管道上可连接并拆卸，可与主互联固定装置之间进行组合连接和分离，同时多个分体装置可单独使用或两两任意组合连接构成一体化腔体使用；以及一体化的恒温台，用于样品原位、恒温传递。该互联系统使用灵活方便，且各个分体装置的占地面积小，对室内空间和承重的需求较小，同时分离式的设计充分利用各种泵体资源，极大程度降低真空互联装置的成本。

技术领域

本公开属于真空互联仪器领域，涉及一种可分离式真空互联系统。

背景技术

近些年随着样品的生长技术和测试技术的提高，越来越多的生长和测试表征依赖于真空环境，尤其是高真空环境。当前用于高真空的生长及测量设备主要有以下几种：(1)分子束外延(MBE，Molecular Beam Epitaxy)及各种蒸发设备；(2)磁控溅射设备；(3)激光辅助沉积设备；(4)化学气相沉积；(5)原子层沉积等；(6)基于表面表征的设备，包括：扫描隧道显微镜，原子力显微镜，X射线光电子能谱等；(7)微纳及低温设备。在这些生长和测量的仪器设备中，分子束外延设备尤为重要。包括分子束外延设备在内的高真空设备未来的发展主要有以下几个显著特征：(1)生长设备和测量设备的联合：对样品异质结的界面处的高平整度以及高纯净度的要求，以及各测量设备之间样品能够原位传输，希望采用真空互联的方法，以获得最佳的生长条件和最优质的薄膜；(2)标准化、自动化和智能化：互联装置带来的一个较大的问题是设备较多，且很多设备并不是采购于同一厂家，标准不是很统一；同时复杂的操作会给操作人员带来较大的负担，并增加培训和维修成本。因此标准化，自动化和智能化成为未来互联装置需要解决的问题；(3)折叠轻便及简单化：轻便化也是未来仪器主要的发展方向，由于现阶段互联仪器设备还较复杂，因此要求能在原有的机器上适当简化以获得最优化的实验方案，尤其是在互联的系统和设备较多，且实验室或工厂房间面积的限制情况下，未来的仪器将更趋向于灵活运用以及轻便化；(4)运用和组合的灵活化及网络化：互联设备绝大多数需要在真空环境下使用。仪器之间相互连接，并使样品原位传输于各腔体之间，从而避免了潜在的材料交叉污染问题，此外还可以充分利用生长设备之间的优势来创造更多的结构，如异质结，分层材料等。尤其是近些年比较流行的量子材料异质结。由于其构型和生长方式存在的明显差异，因此迫切需要这种互联的真空设施来完成材料的生长及表征。

在现有的真空互联设备中，存在如下问题：一、真空互联装置占地面积大，为配合实现装置之间的互联使用，因此需要一间较大跨度的实验室或厂房来支撑；二、大互联装置不够灵活：尤其是以线性传输小车来传送样品的装置，小车的单向运动会极大程度降低传输样品的效率，尤其是当两台需要互联的设备放置在距离较远的位置，这样会极大程度地降低传样效率，同时传输负担也会增加小车脱轨的危险，致使整条样品传输管路停止工作。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本公开提供了一种可分离式真空互联系统，以至少部分解决以上所提出的技术问题。

(二)技术方案

根据本公开的一个方面，提供了一种可分离式真空互联系统，包括：主互联管道；主互联固定装置，设置于主互联管道上；多个可移动的分体装置，该分体装置包含：移动式高真空生长设备、移动式非高真空生长设备、移动式真空测量设备、真空恒温样品传递小车、以及移动式真空泵车系统，其中，分体装置在主互联管道上可连接并拆卸，可与主互联固定装置之间进行组合连接和分离，同时多个分体装置可单独使用或两两任意组合连接构成一体化腔体使用；以及一体化的恒温台，用于在多个互联的分体装置之间或分体装置与主互联固定装置之间的样品原位、恒温传递。