[实用新型]一种用于标记的装置

说明书

本实用新型提供一种用于标记的装置，其中，待标记物表面包括第一坐标图像，用于标记的装置包括：投影设备、模板及支撑架；投影设备位于待标记物上方，且与待标记物平行设置，用于发射投影光线；模板位于投影设备下方，且与投影设备平行设置，模板中包含第二坐标图像，投影光线通过模板投影至待标记物表面，在待标记物表面形成模板图像；支撑架与投影设备相连接，通过调节支撑架的位置，使得模板图像中的第二坐标图像的投影与第一坐标图像重合。通过投影设备、模板及支撑架，在待标记物上进行无纸化标记，从而实现方便、快捷的无纸化标记，节约资源。

技术领域

本实用新型属于设备安装领域，涉及一种用于标记的装置。

背景技术

在现有的半导体制造工厂中，需要对半导体机台进行固定安装，如机台的引入及机台的迁移等。其中，在机台的安装过程中，为确保后续产品质量，对机台的安装的精准度要求较高。因此现有的半导体制造工厂中，为确保机台安装的精准度，工作人员常常采用与待安装的机台的占地面积一致的1:1纸质图纸，作为安装机台的参考图纸，进行地板标记，而后根据地板标记进行机台的安装，从而确保安装的机台的位置的精准度。然而采用这种纸质地板标记的方法，却需耗费与机台占地面积一致的大型1:1纸质图纸，因此造成资源的浪费，且操作复杂，耗时较长，需要耗费较大人力。

因此，有必要提供一种能够用于标记的装置，以解决现有的纸质标记效率较低及耗费较大的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于标记的装置，用于解决现有技术中使用纸质标记所造成的一系列浪费问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于标记的装置，待标记物表面包括第一坐标图像，所述用于标记的装置包括：

投影设备，所述投影设备位于所述待标记物上方，且与所述待标记物平行设置，用于发射投影光线；

模板，所述模板位于所述投影设备下方，且与所述投影设备平行设置，所述模板中包含第二坐标图像；所述投影光线通过所述模板投影至所述待标记物表面，在所述待标记物表面形成模板图像；

支撑架，所述支撑架与所述投影设备相连接，通过调节所述支撑架的位置，使得所述模板图像中的所述第二坐标图像的投影与所述第一坐标图像重合。

可选的，所述第一坐标图像及所述第二坐标图像中至少包括两个装载中心点及四个边缘点。

可选的，所述模板与所述模板图像之间的比值范围包括1:10～1:1000。

可选的，所述模板包括固定式模板及调节式模板中的一种。

可选的，所述支撑架的移动方式包括旋转式、平移式及升降式中的一种或组合。

可选的，所述支撑架还包括用于承载所述投影设备的投影设备载台及用于承载所述模板的模板载台。

可选的，所述装置还包括水平测量仪。

可选的，所述装置还包括报警设备。

可选的，所述支撑架还包括万向轮，且所述万向轮还连接有锁止机构。

可选的，上述任一所述用于标记的装置包括用于安装半导体机台的地板标记的装置。

如上所述，本实用新型的用于标记的装置，具有以下有益效果：通过投影设备、模板及支撑架，在待标记物表面形成模板图像，以在待标记物上进行无纸化标记，从而实现方便、快捷的无纸化标记，节约资源。

附图说明

图1显示为本实用新型中的用于标记的装置的结构示意图。

元件标号说明

100 待标记物