[实用新型]一种镀膜设备的真空阀门

权利要求书

1.一种镀膜设备的真空阀门，其特征在于，包括阀体、阀芯和直线步进电机，所述阀体包括第一通道和垂直于第一通道设置的第二通道，所述第一通道与第二通道连通，所述第一通道末端固定连接所述直线步进电机，所述直线步进电机输出端固定连接所述阀芯，所述直线步进电机的输出端驱动阀芯在所述第一通道左右移动，实现阀体的闭合，所述直线步进电机的输出长度大于所述第一通末端至所述第二通道，所述第一通道首端设置有圆形的凹槽，所述凹槽内设置有防溅板，所述防溅板沿第一通道径向设置，所述防溅板设置有设置有两组，所述两组防溅板之间交错设置。

2.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述防溅板为“V”字型，所述防溅板的尖端朝所述第一通道内部方向设置。

3.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述第一通道的首端内部至接近与所述第二通道的交接处呈喇叭状设置，其靠近第一通道首端为大端，靠近尾端方向为小端。

4.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述第一通道两端设置有向第一通道轴线方向凸起的封油槽。

5.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述阀芯外圈设置有密封胶圈。

6.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述阀芯中心设置有螺纹盲孔，直线步进电机的输出轴轴端设置有螺纹，所述阀芯与所述直线步进电机的输出轴为螺纹固定。

7.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述第一通道的两端和所述第二通道的上端均设置有法兰盘。

8.如权利要求1和权利要求7所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述第一通道的两端和所述第二通道的上端的各个法兰盘连接处均设置有密封胶圈。

9.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述防溅板与所述凹槽为焊接。

10.如权利要求1所述的镀膜设备的真空阀门，其特征在于，所述阀体为304不锈钢材质。