[实用新型]晶圆承载装置

权利要求书

1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：

支架，用于承载沿竖直方向立起的晶圆，且能够在所述晶圆施加的压力作用下沿竖直方向运动；

第一夹持部；

第二夹持部，用于与所述第一夹持部共同夹持所述晶圆，且与所述第一夹持部沿水平方向分布于所述支架的相对两侧；

驱动部，同时连接所述支架、所述第一夹持部与所述第二夹持部，用于根据所述支架沿竖直方向的运动驱动所述第一夹持部与所述第二夹持部沿水平方向相对运动，以稳定的夹持所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述驱动部包括齿轮；所述支架包括第一齿部和第一承载部；所述第一齿部沿竖直方向延伸，且与所述齿轮啮合连接；所述第一承载部连接于所述第一齿部的底端，用于承载沿竖直方向立起的所述晶圆，并能够在所述晶圆施加的压力作用下沿竖直方向运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一夹持部与所述第二夹持部分布于所述齿轮的相对两侧，且均与所述齿轮啮合，通过所述齿轮的转动带动所述第一夹持部与所述第二夹持部沿水平方向相对运动。

4.根据权利要求3所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一夹持部包括第二齿部和第一夹持本体，所述第二夹持部包括第三齿部和第二夹持本体；所述第二齿部与所述第三齿部沿水平方向相向延伸，且均与所述齿轮啮合连接；所述第一夹持本体连接于所述第二齿部远离所述第二夹持部的末端，所述第二夹持本体连接于所述第三齿部远离所述第一夹持部的末端。

5.根据权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二齿部与所述第三齿部沿竖直方向分布于所述齿轮的相对两侧。

6.根据权利要求4所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一夹持本体包括第一平板部以及连接于所述第一平板部边缘的第一挡板，所述第二夹持本体包括第二平板部以及连接于所述第二平板部边缘的第二挡板；所述第一平板部与所述第二平板部均用于承载所述晶圆，所述第一挡板与所述第二挡板用于共同夹持所述晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一挡板与所述第二挡板均呈弧形。

8.根据权利要求5所述的晶圆承载装置，其特征在于，还包括弹簧和外壳；所述支架、所述第一夹持部、所述第二夹持部与所述驱动部均位于所述外壳围绕而成的腔体内；所述弹簧沿竖直方向延伸，且其一端连接所述支架、另一端连接所述外壳。

9.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述支架还包括连接部以及第二承载部；所述连接部的顶端与所述第一齿部连接，所述第一承载部与所述第二承载部分别连接于所述连接部的相对两侧，所述弹簧的一端连接所述第二承载部、另一端连接所述外壳。

10.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述弹簧的弹性系数为25N/M～35N/M。