[实用新型]全自动插片机

权利要求书

1.全自动插片机，其特征在于：包括空篮上料机构(1)，硅片分片输送机构(2)，满篮、空篮移栽机构(3)，满篮输送机构(4)，空篮下料机构(5)，机架外封机构(6)，人机界面(7)和硅片装载机构(8)；

所述空篮上料机构(1)包括导向板(101)、防护板(102)和上料系统装配件(103)，所述上料系统装配件(103)的顶部设有两组相互平行的防护板(102)，每组所述防护板(102)的顶部均水平设有导向板(101)；

所述硅片分片输送机构(2)包括检测固定板(201)、步进电机(202)、前侧导向装配件(203)、二段输送装配件(204)、电机侧板(205)、废片检测装配体(206)和皮带机头总装配体(207)，所述皮带机头总装配体(207)的右侧通过螺栓固定安装有废片检测装配体(206)，所述废片检测装配体(206)的右侧通过螺栓固定安装有前侧导向装配件(203)，所述前侧导向装配件(203)的右侧通过螺栓固定安装有二段输送装配件(204)，所述废片检测装配体(206)的顶部左右两侧之间通过螺栓固定安装有检测固定板(201)，所述前侧导向装配件(203)的左右两侧均通过螺栓竖直安装有电机侧板(205)，左侧所述电机侧板(205)的表面安装有步进电机(202)；

所述满篮、空篮移栽机构(3)包括升降机械手装配体(301)和直线滑轨(302)，所述升降机械手装配体(301)共有两组，两组所述升降机械手装配体(301)均通过螺栓固定安装在直线滑轨的右侧末端侧壁表面；

所述满篮输送机构(4)包括第一导轨(401)、滑块(402)和气缸(403)，所述第一导轨(401)共有两组，两组第一导轨(401)在同一平面上呈相互平行设置，两组所述第一导轨(401)之间滑动连接有滑块(402)，其中右侧所述第一导轨(401)的外侧侧壁固定安装有气缸(403)，所述气缸(403)的活动端与滑块(402)的侧壁固定连接；

所述空篮下料机构(5)包括磁偶缸(501)、第二导轨(502)、导杆气缸(503)和挂钩板(504)，所述第二导轨(502)的内腔水平镶嵌有磁偶缸(501)，所述第二导轨(502)的右侧末端竖直安装有导杆气缸(503)，所述导杆气缸(503)的底部设有挂钩板(504)，所述挂钩板(504)位于第二导轨(502)的底部；

所述硅片装载机构(8)包括启动手指(801)、超薄气缸(802)、模组(803)和三轴气缸(804)，所述模组(803)的顶部中心设有超薄气缸(802)，所述超薄气缸(802)的活动端固定连接有启动手指(801)，所述模组(803)的表面中心的左右两侧分别通过安装板固定安装有三轴气缸(804)；

所述人机界面(7)通过螺栓固定安装在机架外封机构(6)的左侧上方侧壁表面，所述空篮上料机构(1)通过焊接连接在机架外封机构(6)的内腔，所述硅片分片输送机构(2)位于机架外封机构(6)的中间两侧并与空篮上料机构(1)通过螺纹固定连接，所述满篮、空篮移栽机构(3)与机架外封机构(6)通过螺纹连接，所述满篮输送机构(4)与机架外封机构(6)通过焊接连接，所述空篮下料机构(5)的第二导轨(502)与机架外封机构(6)通过齿轮卡合连接，所述硅片装载机构(8)的前后两侧通过螺栓与机架外封机构(6)的内腔侧壁螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的全自动插片机，其特征在于：所述步进电机(202)为2S57Q-25B2系列步进电机。

3.根据权利要求1所述的全自动插片机，其特征在于：所述超薄气缸(802)为ACQ系列超薄气缸。

4.根据权利要求1所述的全自动插片机，其特征在于：所述三轴气缸(804)为TCM系列三轴气缸。

5.根据权利要求1所述的全自动插片机，其特征在于：所述直线滑轨(302)为TRH20VN系列直线导轨。