[实用新型]一种太阳能刻蚀机台改造结构有效
申请号: | 201821666147.4 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN208738195U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 吴建栋;周伟旭 | 申请(专利权)人: | 福建汉晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/306 |
代理公司: | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人: | 沈威 |
地址: | 363300 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 刻蚀机台 出气管 本实用新型 抽气处理 出料口 进料口 连接管 太阳能 玻璃板 环型空腔 气体散发 区域提供 装置处理 抽气泵 抽气管 封口帽 固定环 进气孔 三通管 支撑架 水箱 抽气 吹干 阀门 盘管 通孔 吹风 改造 观察 | ||
本实用新型公开了一种太阳能刻蚀机台改造结构,包括刻蚀机台本体、进料口、出料口、抽气泵、抽气管、固定环、第一出气管、水箱、观察玻璃板、阀门、第一连接管、盘管、封口帽、PH检测仪、第二连接管、支撑架、环型空腔、进气孔、通孔、第二出气管和三通管。本实用新型结构合理,通过抽气处理装置的设置,可有效的对刻蚀机台本体两侧的进料口和出料口进行抽气,避免刻蚀机台本体内部的有害气体散发到外界,可对工作人员进行保护,避免损坏工作人员的身体;通过抽气处理装置处理后的气体可在第二出气管中产生气流,通过第二出气管末端可为刻蚀机台本体内部的吹干区域提供吹风,可对气流进行利用。
技术领域
本实用新型涉及一种刻蚀机台改造结构,具体为一种太阳能刻蚀机台改造结构,属于晶体硅太阳能电池加工应用技术领域。
背景技术
在对硅片进行刻蚀加工时,硅片一般在太阳能刻蚀机台内部进行流动,通过内部的入料段、湿法刻蚀段、水洗段、碱洗段、水洗段、酸洗段、溢流水洗段和吹干槽进行加工。
在进行硅片刻蚀加工时,需要使用氟化氢、硝酸等有害的物质,工作人员在进料口和出料口进行上下料时,可能会接触到挥发的有害气体,可能会对工作人员造成损伤,又有可能会扩散到外界。因此,针对上述问题提出一种太阳能刻蚀机台改造结构。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种太阳能刻蚀机台改造结构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种太阳能刻蚀机台改造结构,包括刻蚀机台本体以及抽气处理装置,所述刻蚀机台本体两侧分别设置进料口和出料口;
所述抽气处理装置包括两个抽气泵以及嵌合安装在刻蚀机台本体底部的水箱,两个所述抽气泵分别固定安装在进料口顶部和出料口顶部,且两个抽气泵的抽气口均连通抽气管,两个所述抽气泵的出气口分别连通第一出气管和第二出气管,所述进料口内壁和出料口内壁均固定安装有固定环,所述固定环的侧壁内部开有环型空腔,且固定环的内壁均匀开有若干个与环型空腔连通的进气孔,所述抽气管的末端与环型空腔连通,所述第一出气管末端和第二出气管末端通过三通管与第一连接管一端连通,所述第一连接管末端连通位于水箱内部的盘管,且盘管的末端固定安装有封口帽,所述盘管外表面均匀开有若干个通孔,所述水箱顶部固定连通第二连接管,且第二连接管的末端与刻蚀机台本体顶部固接,所述水箱的一侧固定安装有PH检测仪。
优选的,所述进料口底部和出料口底部均通过支撑架与刻蚀机台本体的外壳固接。
优选的,所述水箱的顶部和水箱的底部分别开有进水口和出水口,且进水口和出水口均固定安装有阀门。
优选的,所述第一连接管贯穿水箱的侧壁,且第一连接管与水箱之间无缝焊接。
优选的,所述水箱的顶部固定安装有观察玻璃板。
优选的,所述三通管与刻蚀机台本体的外壳固接。
本实用新型的有益效果是:
1、该种刻蚀机台改造结构通过抽气处理装置的设置,可有效的对刻蚀机台本体两侧的进料口和出料口进行抽气,避免刻蚀机台本体内部的有害气体散发到外界,可对工作人员进行保护,避免损坏工作人员的身体;
2、通过固定环、环型空腔以及进气孔的配合作用,可均匀的对进料口和出料口进行抽气,抽气效果较好,同时气体在水箱中进行处理时,通过盘管以及通孔的配合作用,可使进入水箱中的气体较均匀的与水进行接触,处理效果好,处理后的气体可在第二出气管中产生气流,通过第二出气管末端可为刻蚀机台本体内部的吹干区域提供吹风,可对气流进行利用。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图;
图2为本实用新型整体结构俯视图;
图3为本实用新型固定环内部结构示意图;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建汉晶光电科技有限公司,未经福建汉晶光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821666147.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:圆柱形无脚器件引线自动装填机
- 下一篇:一种芯片键合装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造