[实用新型]太阳能电池片生产PECVD工序尾气处理设备用燃烧头

说明书

本实用新型涉及一种太阳能电池片生产PECVD工序尾气处理设备用燃烧头，该燃烧头设置于燃烧桶顶面，燃烧头外周为燃烧桶盖，燃烧头内设置有进气孔和主火孔，多个主火孔均匀分布形成一个圆，进气孔位于主火孔形成的圆内且在圆内均匀对称分布，进气孔有四个，围绕燃烧头外周的燃烧桶盖上设置有引导火孔，且该引导火孔与距离最近的主火孔之间的距离为5‑10cm，引导火孔的直径为1cm。本实用新型通过将引导火孔设置于燃烧桶盖上，并将引导火孔与主火孔的最近距离控制在一定范围内，解决了原有燃烧头长期使用易烧穿引导火孔的问题，减少了原有燃烧头造成的频繁报警和燃烧头的更换次数；减少了设备维护次数，降低生产成本，提高了设备的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，主要针对太阳能电池片生产 PECVD工序尾气处理设备(scrubber)燃烧头的改良，具体是一种太阳能电池片生产PECVD工序尾气处理设备用燃烧头。

背景技术

太阳能电池制造车间的PECVD设备主要通过高频放电使得反应气体(SiH₄、NH₃)在等离子态剧烈反应生成SiN镀膜在电池片的表面，增强电池片对太阳光线的吸收而减少反射，这样也就在一定程度上提高了电池片的转换效率。尾气处理设备(scrubber)主要将来自PECVD工序产生的废气经过燃烧、过滤后排放。其主要工作流程为：PECVD工序产生的废气通过真空泵排进尾气处理设备(scrubber)燃烧桶内，天然气和氧气按适当的比例通入燃烧桶，火花塞由引导火孔打火点燃天然气和氧气混合气体，通过燃烧的方式将废气转化为无毒无害的气体排放到硅烷塔进行二次处理。

由于现有尾气处理设备(scrubber)型号较老，设计本身存在一些问题，燃烧头的引导火孔距离进气孔很近，之间只隔一层很薄的不锈钢腔壁。天然气和氧气混合气体燃烧温度非常高，长期频繁点火，会导致引导火孔和进气孔之间被烧穿，出现裂缝，甚至小洞，导致气流紊乱，无法正常燃烧，这时就需要进行维护或更换燃烧头，导致维护频率高，对产能和设备稳定性都有较大影响，同时也增加了运营成本。特别是随着设备的不断老化，情况愈加明显，报警频繁，设备人员需花费大量精力对燃烧头进行日常维护及临时应急维修更换。

发明内容

为克服以上问题，本实用新型提供一种太阳能电池片生产PECVD工序尾气处理设备用燃烧头，通过将引导火孔设置于燃烧桶盖上，并将引导火孔与主火孔的距离控制在一定范围内，解决了原有燃烧头长期使用易烧穿引导火孔的问题，减少了原有燃烧头因自身结构缺陷造成的频繁报警和燃烧头的更换次数；减少了设备维护次数，降低生产成本，提高了设备的稳定性。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种太阳能电池片生产PECVD工序尾气处理设备用燃烧头，所述燃烧头设置于燃烧桶的顶面，燃烧头外周包裹有燃烧桶盖，燃烧头内设置有进气孔和主火孔，主火孔的直径小于进气孔的直径，多个主火孔呈圆形均匀分布，进气孔位于主火孔形成的圆内且在圆内均匀对称分布，进气孔有四个，所述燃烧头还包括引导火孔，其中，所述引导火孔设置于围绕在燃烧头外周的燃烧桶盖上，所述引导火孔的直径为1cm，且该引导火孔与距离最近的主火孔之间的距离为5-10cm。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过对燃烧头结构的改进，解决了原有燃烧头因自身结构缺陷造成气流紊乱导致的频繁报警问题，杜绝因长期频繁点火导致引导火孔和进气孔之间被烧穿的问题，减少了燃烧头的更换次数和设备维护次数，提高了设备的稳定性，降低了生产成本。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型燃烧头的结构示意图；